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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 電阻率 | 0.01～1999.9Ω.cm |
測量范圍寬,、精度高,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作的手持式設(shè)計(jì),；
體積僅為：185mm（長）*90mm（寬）*30mm（高）； 重量：350g,；
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
手持式四探針測試儀 四探針測試儀 型號：RTS-3
測量范圍寬、精度高,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式設(shè)計(jì),；
體積僅為：185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高),； 重量：350g；
使用鋰電池供電,，一次充電可連續(xù)使用100小時,；
RTS-3型手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，**用于測量硅晶塊,、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配,。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺使用,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□,；
恒流源 電流量程分為100μA,、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,； 精度：±0.1%；
顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù),，直觀清晰,；性、量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm,； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) 1Ω,、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量Z大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
外型尺寸 185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)
重量 350g
電源 鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時,；
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃,； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾,； 無強(qiáng)光直射
