四探針電阻率測定儀 型號：KDY-1
四探針電阻率測定儀
是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶,、硅片）電阻率,，以及擴散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器,。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成,。
本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化,，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,，使測量電流高度穩(wěn)定,。本機配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時,，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,，更好地保護箔膜。儀器配置：“小游移四探針頭",，探針游移率在0.1～0.2%,。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,，測量硅片時可自動進行厚度,、直徑、探針間距的修正,，并計算,、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化,、平均百分變化,、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便,。
2,、主機技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強的電場干擾，無強光直接照射
（6）重量,、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）
備注：
等級測量時（測電阻率）,，精度<3%
電氣測量時（測電阻），精度在0.3%以內(nèi)
備注：
儀器包括：主機一臺,；測試架（包括臺面）一個,；四探針頭1個
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