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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 量程 | 0.001～0.01mA |
是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶,、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器,。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào)：KDY-1
四探針電阻率測(cè)定儀
是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶,、鍺單晶、硅片）電阻率,，以及擴(kuò)散層,、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器,。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱(chēng)：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成,。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定,。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些箔層材料時(shí),，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置：“小游移四探針頭",，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度,。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑,、探針間距的修正,，并計(jì)算、打印出硅片電阻率,、徑向電阻率的大百分變化,、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋,。給測(cè)量帶來(lái)很大方便,。
2,、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測(cè)方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿(mǎn)度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射
（6）重量,、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）
備注：
等級(jí)測(cè)量時(shí)（測(cè)電阻率）,，精度<3%
電氣測(cè)量時(shí)（測(cè)電阻），精度在0.3%以?xún)?nèi)
備注：
儀器包括：主機(jī)一臺(tái),；測(cè)試架（包括臺(tái)面）一個(gè),；四探針頭1個(gè)
