數(shù)字式四探針測試儀 型號： RTS-4（SDY-4替代）
數(shù)字式四探針測試儀
是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的,，**用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的**用儀器。
儀器由主機,、測試臺,、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了新電子技術(shù)進行設(shè)計,、裝配。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
ST-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：
測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展),；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm,；
電阻：0.001～200Ω.cm,；
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；
恒流源 電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性,、量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量Z大相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口
標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強光直射,；
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