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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 環(huán)保 |
|---|---|---|---|
| 精度 | <0.2rpm |
智能化設計,、高配置,、高穩(wěn)定性機型。
PC控制系統(tǒng),，更好的可操控性可編程設計,。
5“人機界面，全中文操作系統(tǒng),，更方便操作,。
適合多種材料勻膠、制版工藝,。
廣泛應用于微電子,、光電子、通訊,、微機械,、材料科學及新能源等領域
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
智能程控勻膠機 型號：SC-100A
智能程控勻膠機
智能化設計,、高配置、高穩(wěn)定性機型,。
PC控制系統(tǒng),，更好的可操控性可編程設計。
5“人機界面,，全中文操作系統(tǒng),，更方便操作。
適合多種材料勻膠,、制版工藝,。
廣泛應用于微電子、光電子,、通訊,、微機械、材料科學及新能源等領域
采用無刷伺服電機,，全閉環(huán)數(shù)字編碼器測速機構,，實測整個過程馬達速度。 機身選用耐酸堿,、耐沖擊,、耐腐蝕不銹鋼、生銹,，便于清洗,。
排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā),。
配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口,，由界面集中控制。
旋涂程序：用戶可通過PC界面設置和存儲工藝參數(shù),，可存儲15組參數(shù),，支持多段速。
轉動速度：0-5,000rpm
旋涂加速度：0-5000rpm/sec,，加,、減速時間可自由設置（0-20000ms）
轉速穩(wěn)定度 ±1rpm
測速精度<0.2rpm
工藝時間設定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞) （標配1-2英寸）
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3%
支持基片厚度≤5mm
勻膠腔室內(nèi)徑：Ф260mm ，不銹鋼材質,、可視透明上蓋
抽氣接口: Ф8mm快速接頭,，配Ф8mm透明抽氣管
樣片托：根據(jù)實際尺寸定制。
真空泵：配100L/min無油真空泵一臺
電源輸入： AC220V/240V 50HZ
整機功率：630W （真空泵230W 主機400W）
機身重量：11Kg
真空泵重：6.0Kg
設備尺寸：280×360×240mm
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