四探針方阻電阻率測試儀參照標準
一. 描述Description:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸,、邊界效應,、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差,,提供通訊接口,,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標準standard:
硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造,;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》,、GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope:
適用于生產(chǎn)企業(yè),、高等院校,、科研部門,是檢驗和分析半導體材料質量的工具,;液晶顯示,,自動測量和系數(shù)補償,并帶有溫度補償功能,,自動轉換量程,;采用AD芯片控制,恒流輸出,,選配:PC軟件,,保存和打印數(shù)據(jù),生成報表
用于:覆蓋膜;導電高分子膜,,高,、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布,、裝飾膜,、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉,、燒結,、濺射、涂覆,、涂布層,,電阻式、電容式觸屏薄膜;電**涂料,,其他半導體材料,、薄膜材料方阻測試等相關產(chǎn)品
四.型號及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6~2×106Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ,1μA,,10μA,,100µA,1mA,,10mA,,100mA
4.電流精度 Current accura±0.1%
5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數(shù)display液晶顯示:電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 、電導率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測試方式test mode普通單電測量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.誤差errors≤4%(標準樣片結果 Standard Sample results)
10.選購功能choose to buy選購1.pc軟件,; 選購2.方形探頭,; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺,;5.標準電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測試探頭Test probe探針間距選購:1mm,;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針,;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm,;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.