臺式勻膠機
閱讀:751 發(fā)布時間:2019-7-4
臺式勻膠機型號:KWD
KWD臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠,。
KWD臺式勻膠機技術(shù)參數(shù):旋轉(zhuǎn)速度:200-2000rpm,,精度:±0.5%
勻膠時間:3-60s可調(diào)
基材尺寸:Φ200-Φ600 200mm×200mm~500×500mm
材料: 硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,、GaN、InP等多種材料
電機功率:320w
LED數(shù)字顯示:轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.5%,,膠的均勻性:±5%
大加速度:加速度:≥500rpm/sec
儀KWD臺式勻膠機器尺寸:980mm×855mm×855mm