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上海譜閔工業(yè)自動化設(shè)備有限公司

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  • 品牌 REXROTH/德國力士樂
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更新時間:2021-09-27 16:02:51瀏覽次數(shù):970

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【簡單介紹】
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,電子
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MEMS是一種將微與機械工程融合到一起的工業(yè)技術(shù),,MEMS的發(fā)展涉及并影響著很多領(lǐng)域的科學(xué)研究與技術(shù)進步,,包括電子、機械,、材料,、物理學(xué)、化學(xué),、生物學(xué),、醫(yī)學(xué)等。通常,,它的操作尺度在微米級別,。

MEMS由尺寸為1-100微米的部件組成,一般MEMS設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,。類似手機卡有Micro也有Nano,,也有比MEMS更微型的機電系統(tǒng),它的操作尺度在納米級別。這種與MEMS類似的技術(shù),,被稱為NEMS(nanoelectromechanical systems,,納機電系統(tǒng))。

MEMS的內(nèi)部通常包含一個,,以及若干獲取外界信息的微型傳感器,。也因為操作尺度小,比大型電子,、機械系統(tǒng)更容易受環(huán)境影響,,MEMS在設(shè)計時需要考慮靜電荷和磁矩等環(huán)境電磁作用,以及表面張力和粘度等流體動力學(xué)的影響,。

MEMS產(chǎn)業(yè)得以繁榮發(fā)展,,離不開半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加工技術(shù)的長足進步。

「MEMS傳感器」是采用微電子和微機械加工技術(shù)生產(chǎn)出來的新型傳感器,。得益于在微米尺寸工作的特性,,MEMS可以完成一些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。這也成就了MEMS傳感器相對于傳統(tǒng)傳感器的一些優(yōu)勢,,例如:體積小,、重量輕、功耗低,、可靠性高,、成本低、適于批量化生產(chǎn),、易于集成等,。

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