三次元精度校準(zhǔn)的組成比較復(fù)雜,，主要有機(jī)械部件、電氣控制部件,、計算機(jī)系統(tǒng)組成,。平時我們在使用三坐標(biāo)測量機(jī)測量工件的同時，也要注意機(jī)器的保養(yǎng),，以延長機(jī)器的使用壽命,。
三次元精度校準(zhǔn)主要用于機(jī)械、汽車,、航空,、軍工,、家具、工具原型,、機(jī)器等中小型配件,、模具等行業(yè)中的箱體、機(jī)架,、齒輪,、凸輪、蝸輪,、蝸桿,、葉片、曲線,、曲面等的測量,，還可用于電子、五金,、塑膠等行業(yè)中,，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測,，從而完成零件檢測,、外形測量、過程控制等任務(wù),。
一般3個月要清洗隨機(jī)過濾器和前置過濾器的濾芯,。空氣質(zhì)量較差的周期要縮短,。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞,，時間稍長就會使測量機(jī)實(shí)際工作氣壓降低，影響三坐標(biāo)測量儀正常工作,。一定要定期清洗過濾器濾芯,。
三坐標(biāo)測量儀的導(dǎo)軌是測量機(jī)的基準(zhǔn)，只有保養(yǎng)好氣浮塊和導(dǎo)軌才能保證測量機(jī)的正常工作,。三坐標(biāo)測量儀導(dǎo)軌的保養(yǎng)除了要經(jīng)常用酒精和脫脂棉擦拭外,，還要注意不要直接在導(dǎo)軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導(dǎo)軌,，因其質(zhì)地比較脆,，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時發(fā)現(xiàn),，碎渣就會傷害氣浮塊和導(dǎo)軌,。要養(yǎng)成良好的工作習(xí)慣，用布或膠皮墊在下面,，保證導(dǎo)軌安全,。
精度（0.5um為標(biāo)準(zhǔn)型）
0.5um型U1（X,，Y，Z）＝4＋L／150U2（XY）＝5＋L／150U3（XYZ）＝L／150
0.1um型U1（X,，Y,，Z）＝3＋L／200U2（xy）＝4＋L／200U3（XYZ）＝4＋L／200
Demeet220項目zui大速X，Y＝220Z＝50mm／S
其他DemeetX,，Y＝250Z＝50mm／S
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