您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng),！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
15951628717
當(dāng)前位置：南京灼華電氣有限公司>>技術(shù)文章>>美國Edco XP-F30 5KG 真空吸盤材質(zhì)類型
什么是真空吸盤,？
晶圓真空吸盤通常由堅(jiān)硬的表面構(gòu)成,，表面上有許多小孔或通道。通過這些小孔,，吸盤可以與真空泵連接,，從而產(chǎn)生真空效應(yīng)。
當(dāng)晶圓放置在吸盤上時(shí),，真空泵被打開,，通過小孔抽取空氣，從而在晶圓和吸盤之間產(chǎn)生真空,。這個(gè)真空效應(yīng)產(chǎn)生了足夠的吸力,，將晶圓牢固地吸附到吸盤表面上。
真空吸盤的形狀尺寸,？
晶圓真空吸盤通常是圓形的,，并且比晶圓尺寸稍大。常見尺寸范圍為直徑 50 毫米至 300 毫米以上,，大多數(shù)真空吸盤采用同心圓環(huán)真空設(shè)計(jì),。真空吸盤通常與晶圓的標(biāo)準(zhǔn)尺寸相匹配，且不同尺寸的晶圓對(duì)應(yīng)對(duì)應(yīng)尺寸的吸盤,，一般不能混用,。例如，150 毫米（6 inch）吸盤可以固定150 毫米晶圓,，如果要兼容4inch晶圓,，可能需要安裝夾具。
真空吸盤的材質(zhì),？
鋁——吸盤由鋁制成,，鋁是一種相對(duì)柔軟、輕質(zhì),、無磁性,、耐腐蝕的材料。使用鋁卡盤以避免損壞工件,。鋁和鋁合金的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性非常好,。
黃銅/青銅——吸盤由黃銅或青銅制成或內(nèi)襯黃銅或青銅。黃銅卡盤和青銅卡盤可避免工件損壞，同時(shí)仍提供適當(dāng)?shù)膭傂院途_的固定和定位,。銅和一些銅合金的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性非常好,，在冷卻或加熱應(yīng)用中會(huì)快速導(dǎo)熱。,。黃銅不適合用于高真空和高溫腔室環(huán)境中的晶圓卡盤,，因?yàn)辄S銅合金中的鋅很容易蒸發(fā)。
陶瓷– 陶瓷表面通常用于需要高純度和化學(xué)穩(wěn)定性的應(yīng)用,。陶瓷是通過礦物高溫融合而生產(chǎn)的材料,。一般來說,，陶瓷是電絕緣體或半導(dǎo)體，并且具有高抗熱擊穿,、侵蝕和損傷的能力。
真空吸盤類型
非熱卡盤– 非熱卡盤在室溫下運(yùn)行,，沒有加熱或冷卻功能。
熱卡盤– 熱卡盤具有整體加熱或冷卻功能，可在加工過程中將晶圓保持在特定溫度,。
真空吸盤重要的規(guī)格指標(biāo)
外徑或?qū)挾葲Q定了可以固定的晶圓的尺寸
晶圓吸盤的平整度是一個(gè)重要的指標(biāo),，通常以微米為單位,。對(duì)于極紫外光刻，需要具有高平坦度的晶圓卡盤進(jìn)行聚焦。
對(duì)于熱吸盤,，這表明熱吸盤可以提供的溫度控制范圍。對(duì)于非熱吸盤,，溫度范圍表示吸盤可以在不損壞的情況下運(yùn)行的極限溫度。
熱穩(wěn)定性表示熱晶圓吸盤的溫度控制水平。
整個(gè)晶圓表面溫度控制的均勻性,。具有高熱均勻性的熱卡盤不會(huì)有熱點(diǎn)或冷點(diǎn),。
晶圓卡盤的電容是電氣測(cè)試或探測(cè)中使用的卡盤的一個(gè)重要參數(shù)。低電容更適合測(cè)試或探測(cè),。
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任,。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量,。
