勻膠機(jī)有很多種稱謂,，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái),、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀,、勻膜機(jī)，總的來說,，他們?cè)矶际菢拥?，即在速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
選購(gòu)巧
從其原理來說,，可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)"
1,、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,，對(duì)于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,。產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速,?？诘膭蚰z機(jī)雖然大分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大分轉(zhuǎn)速度沒有際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定,。建議購(gòu)買轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,，比如:美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
2,、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
真空泵定要無油的,，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，內(nèi)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維,。因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,，還會(huì)讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞,。用過產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題，這點(diǎn)許多外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn),。
3,、 材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對(duì)于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆,PTFE)材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保,、節(jié)約資源、重量輕,、強(qiáng)度大,、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用,、花紋自然,、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
