勻膠機是在旋轉(zhuǎn)的基片上,,滴注膠液,,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
選購巧
從其原理來說,,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,,并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。
真空吸附系統(tǒng)的構
真空泵定要無油的,,壓力標定準確,油污都可能堵塞真空管道,,如果真空吸附力降低,,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。
材質(zhì)的選擇
對于半導體化行業(yè)的應用來說,,材質(zhì)的選擇尤為關鍵,,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,,塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,,將會導致旋涂時,,時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果,。
旋轉(zhuǎn)涂覆術
旋轉(zhuǎn)涂覆術所使用的設備是勻膠機,。又稱甩膠機、勻膠臺,、旋轉(zhuǎn)涂膠機,、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機,、旋轉(zhuǎn)涂布機,、旋轉(zhuǎn)薄膜機,、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀,、勻膜機,,總的來說,他們原理都是樣的,,即在速旋轉(zhuǎn)的基片上,,滴注膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
從其原理來說,,勻膠機有以下兩個特點,。
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,,對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵般采用無油泵,即通常說的干泵,,因為何的油污都可能堵塞真空管道,,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,,還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞,。有的勻膠機通過聯(lián)動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn),。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng),。