恒奧德文解析勻膠機材質的選擇構
從其原理來說,,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉速度
轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,,對于要求密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。產的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能確標定實時的轉速,??诘膭蚰z機雖然大分能標定轉速,,但是大分轉速度沒有標準認定。建議購買轉速控制方面有認定標準的,,比如:美NIST標準等,。
真空吸附系統(tǒng)的構
真空泵定要無油的,壓力標定準確,,內生產的無油真空泵實在不敢恭維,。因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,,會導致基片吸附不住而產生“飛片"的情況,,還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。用過產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,,這點許多外的勻膠機做得不錯,,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,,不會開始旋轉,。
材質的選擇
對于半導體化行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,,塑料對于較溫度和壓力下易產生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,,時時低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,,PTFE)材質,。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源,、重量輕,、強度大、抗沖擊性能好,、堅固耐用,、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點,。