便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器,。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定,。
它主要由電器測量份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測試架,。
為減小體積,,本儀器用同塊數(shù)字表測量電及阻率。樣品測試電由寬的恒源提供,,隨時(shí)可行校準(zhǔn),,以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測,。對(duì)1~100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不過±5%,,在此范圍內(nèi)達(dá)到家標(biāo)準(zhǔn)二機(jī)的水平。
2,、測試儀結(jié)構(gòu)及原理
測試主機(jī)由主機(jī)板,、前面板、后背板及機(jī)箱組成,,數(shù)字表,、測試電換檔開關(guān),、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測量變換開關(guān)以及電調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上,。后背板上只裝有電源插座,、電源開關(guān)、保險(xiǎn)管及四探針連接插zuo,。機(jī)箱底板上字裝了主機(jī)板,。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件,便于拆卸維修,。