數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀為解決太陽能單晶,、多晶少子壽命測量,，按照標GB/T1553及SEMI MF-1535用頻光電導法研制出了數(shù)字式少子壽命測試儀。
該設備是按照家標準GB/T1553“硅單晶少數(shù)載子壽命測定的頻光電導衰減法”制,。頻光電導衰減法在我半導體集成電路,、晶體管、整器件,、核探測器行業(yè)已運用了三十多年,，積累了豐富的使用經驗，經過數(shù)次十多個單位巡回測試的考驗,，證明是種成熟可靠的測試方法,，別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量,；也可對硅片行測量,，給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,，制樣簡便,。
數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀有以下點：
1,、 可測量太陽能多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載子體壽命,。表面拋光,，直接對切割面或研磨面行測量。同時可測量多晶硅檢驗棒及集成電路,、整器,、晶體管硅單晶的少子壽命。
2,、 可測量太陽能單晶及多晶硅片少數(shù)載子的相對壽命,，表面拋光、鈍化,。
3,、配備用軟件的數(shù)字示波器，液晶屏上直接顯示少子壽命值,，同時顯示動態(tài)光電導衰退波形,，并可聯(lián)用打印機及計算機。
