用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器

時(shí)間：2018/4/12閱讀：920

數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器,。
    儀器由主機(jī),、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
    儀器采用了電子行,、裝配,。具有能選擇直觀,、測(cè)量取數(shù)快,、度、測(cè)量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點(diǎn),。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。
四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析,。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析

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