Physik Instrumente (PI)線性平臺

U-523PILine®線性平臺

特點：

快速定位

省空間和重量

導向精度高

傳感器分辨率高達10 nm

自鎖,，靜止時不發(fā)熱

低噪音運行

精密級線性定位平臺

PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應用。關(guān)閉時,，自鎖驅(qū)動器會保持平臺在機械上穩(wěn)定的位置,。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少,。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢檬芤?。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復運動,。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉,，可以定制,。

使用增量編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性,，機械游隙或彈性變形對測量沒有影響,。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預加載在可移動的導向流道上,。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩,。致動器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米,。高頻導致高速,。將壓電陶瓷執(zhí)行器預緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可在靜止和關(guān)閉時確保驅(qū)動器自鎖,。

應用領域

顯微操作,，自動化，生物技術(shù),，樣品處理,，樣品定位，空間有限的應用,，10 ^-6hPa的真空應用（可選）,。

Q-521 Q?Motion®微型線性平臺

特點：

寬度僅21毫米，高度僅10毫米

帶有集成增量編碼器的直接位置測量

編碼器分辨率高達1 nm

小增量運動可達2 nm

帶轉(zhuǎn)接板或支架的多軸系統(tǒng)設置（可選）

可根據(jù)要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

壓電慣性驅(qū)動

壓電慣性驅(qū)動器是節(jié)省空間且價格合理的基于壓電的驅(qū)動器,，具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍,。慣性驅(qū)動原理基于單個壓電致動器，該壓電致動器由特殊驅(qū)動器電子設備提供的修改后的鋸齒電壓進行控制,。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道,。由于其慣性，轉(zhuǎn)輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮,，并保持在其位置,。驅(qū)動器的高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉(zhuǎn)輪上并達到大速度,。6毫米/秒

真空

 可根據(jù)要求提供10 ^-6 hPa的真空版本,。

直接測量原理

線性位移臺配有非接觸式測量光學線性編碼器和參考開關(guān)。分辨率為4 nm或1 nm,，具體取決于版本,。 

應用領域

微型裝配，光子學,，光學對準,，顯微鏡，光束線儀器，半導體技術(shù),，測試

H-811.F2 6軸微型六腳架

特點：

行程范圍為±17毫米/±21°

設計緊湊

可移動磁性板

高動態(tài)和高精度

可自由編程的虛擬樞軸點

的使用壽命

六自由度的并聯(lián)運動學設計使其比串聯(lián)運動學系統(tǒng)更加緊湊和堅固,，動態(tài)范圍更大，電纜沒有移動：更高的可靠性,，減少了摩擦

無刷直流電機（BLDC）

無刷直流電動機特別適合于高轉(zhuǎn)速,。可以非常精確地控制它們并確保高精度,。由于無需滑動觸點,，因此它們運行平穩(wěn)，無磨損,，因此使用壽命長,。

應用領域

研究和工業(yè)，微制造,，光纖對準和光學組件的對準,。

廣泛的軟件包

供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng),，例如Windows,，Linux和macOS，以及許多常見的編程語言,，包括Python,，MATLAB和NI LabVIEW。得益于復雜的程序示例和軟件工具（如PIMikroMove）的使用,，開始集成和生產(chǎn)操作之間的時間大大縮短了。

可移動磁性板

加快您的工作流程,。下一個工件可以平行于我們的自動化處理步驟進行準備,。可拆卸磁性板無需工具即可快速拆卸,，然后每次都可以準確地重新組裝,。

PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器

特點：

緊湊：表面44毫米×44毫米

行程范圍為120 µm×120 µm

分辨率至0.2 nm

特別便宜的系統(tǒng)（機械和控制器）

零間隙，高精度撓曲導向系統(tǒng)

PICMA®壓電執(zhí)行器,，使用壽命長

也提供線性和Z載物臺,，以及XYZ版本

應用領域：

干涉儀

顯微鏡檢查

納米定位

生物技術(shù)

測試程序和質(zhì)量保證

光子學

光纖定位

半導體技術(shù)

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護,，無摩擦和無磨損,，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,，并且沖擊和振動不敏感,。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA®壓電執(zhí)行器,，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的,。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多,。事實證明,，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

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