德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺

：PI (Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商,。
   PI不僅開發(fā)和生產各種定位平臺和執(zhí)行器,，用于線性,，旋轉和垂直運動或不同軸的組合,。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng),。

產品應用領域：
半導體制造
醫(yī)學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺

§ 行程為50至1800微米

§ 分辨率達0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計量

§ X、XY,、Z和XYZ型

帶電容式傳感器,，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性,、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦,、無磨損,，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力,，且它們對chong擊和振動不敏感,。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作,。

直接位置測量帶來大精度

運動直接在運動平臺上測量,，*不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)jia的重復精度,、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 ,、快速響應控制。

德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺