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當(dāng)前位置:北京漢達森機械技術(shù)有限公司>>技術(shù)文章>>Bdiscom等離子體發(fā)生器的關(guān)鍵組成部分
Bdiscom等離子體發(fā)生器是一種將氣體電離產(chǎn)生等離子體的設(shè)備,。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài),由離子,、電子和中性粒子組成,,具有高能量和活性,廣泛應(yīng)用于工業(yè),、科研和醫(yī)療領(lǐng)域,。
電源:
提供高頻或高壓電能,,用于電離氣體。
電極:
用于產(chǎn)生電場,,使氣體電離,。
氣體供應(yīng)系統(tǒng):
提供工作氣體(如氬氣、氮氣,、氧氣等)。
控制系統(tǒng):
調(diào)節(jié)功率,、頻率和氣體流量,,以控制等離子體的特性。
氣體被引入反應(yīng)室,。
電源提供高頻或高壓電能,,通過電極產(chǎn)生強電場。
氣體分子在電場中被電離,,形成等離子體,。
等離子體被引導(dǎo)到目標區(qū)域,用于特定應(yīng)用,。
工業(yè)領(lǐng)域:
表面處理:清潔,、活化和涂層(如提高材料表面的附著力)。
半導(dǎo)體制造:用于刻蝕和沉積工藝,。
廢氣處理:分解有害氣體和污染物,。
科研領(lǐng)域:
等離子體物理研究:研究等離子體的性質(zhì)和行為。
材料科學(xué):開發(fā)新型材料和涂層,。
醫(yī)療領(lǐng)域:
醫(yī)療器械消毒:利用等離子體殺滅細菌和病毒,。
傷口處理:促進傷口愈合。
能源領(lǐng)域:
核聚變研究:用于可控核聚變實驗,。
等離子體推進:用于航天器的推進系統(tǒng),。
Bdiscom的BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發(fā)生器,最大輸出功率為 5,、10 或 15 kW,,專為 PECVD 或等離子體清洗應(yīng)用上的等離子體激發(fā)而設(shè)計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率,。
輸出為平衡型,,能夠驅(qū)動 2 個對稱電極。典型應(yīng)用是大型工藝腔室上的 PE-CVD 工藝,。一個功能是高壓匹配變壓器內(nèi)置 2 個(標準)或 3 個(根據(jù)要求)變壓器抽頭作為阻抗匹配,。
用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus(根據(jù)要求),。
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