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ST橢偏儀SE500
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ST橢偏儀SE500是一種利用光的偏振態(tài)變化來(lái)進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器,，主要用來(lái)測(cè)量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì),。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光,、可見(jiàn)光以及紅外光）變成*偏振光后通過(guò)一定角度入射到樣品上，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會(huì)反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi),，由于樣品介質(zhì)會(huì)對(duì)偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變,，而這種改變會(huì)被橢偏儀測(cè)量，橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對(duì)偏振光性質(zhì)改變的原理來(lái)表征介質(zhì)的性質(zhì)的,。
SE500型號(hào)采用雙光譜儀耦合實(shí)現(xiàn)250-1700nm超長(zhǎng)波段的探測(cè),，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料紫外,、可見(jiàn)和紅外波段的全覆蓋測(cè)量研究，同時(shí)可搭配自動(dòng)平臺(tái)掃描,、自動(dòng)變角,、微光斑探測(cè)以及平臺(tái)加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。
系統(tǒng)配置:
探測(cè)器：陣列探測(cè)器,
光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
軟件：TFProbe 3.3版本的軟件
入射角度變化：手動(dòng)調(diào)節(jié)
測(cè)量種類：薄膜厚度,、折射率和消光系數(shù)以及多層膜堆疊
計(jì)算機(jī)：Intel雙核處理器,、19”寬屏LCD顯示器
電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
保修：一年的整機(jī)及零部件保修
規(guī)格參數(shù)
波長(zhǎng)范圍：250nm到1700 nm
光斑尺寸：1mm至5mm可變
樣品尺寸：直徑可達(dá)200mm
測(cè)量厚度范圍*：?30μm
測(cè)量時(shí)間：約1秒/位置點(diǎn)
入射角范圍：20到90度,，5度間隔
重復(fù)性誤差*：小于1 ?
可選項(xiàng)配置:
用于反射的光度測(cè)量或透射測(cè)量,；
用于測(cè)量小區(qū)域的微小光斑；
用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣?dòng)量角器,；
X－Y成像平臺(tái)(X-Y模式,，取代ρ-θ模式)；
加熱/致冷平臺(tái),；
樣品垂直安裝角度計(jì),；
波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍；
掃描單色儀的配置,；
聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,，可用于對(duì)樣品的圖像進(jìn)行測(cè)量等。
其他選項(xiàng)配置:
用于玻璃基底測(cè)量的特殊樣品架
用于觀察樣品區(qū)的可視模塊
加熱或制冷平臺(tái)
可用于實(shí)時(shí)在線測(cè)量
其他尺寸的樣品臺(tái)
用于 Liquid Cell 的特殊配置
用于單波長(zhǎng)或窄波段探測(cè)的單色掃描儀配置
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