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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
AST橢偏儀SE300
AST橢偏儀SE300橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器，主要用來測量薄膜材料的厚度,、NK參數(shù)等性質(zhì),。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成*偏振光后通過一定角度入射到樣品上,，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi),，由于樣品介質(zhì)會對偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變,，而這種改變會被橢偏儀測量,，橢偏儀就是利用這個介質(zhì)對偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的,。
SE300型號實(shí)現(xiàn)400nm到1000 nm超長波段的探測，可實(shí)現(xiàn)對材料紫外,、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究,，同時可搭配自動平臺掃描、自動變角,、微光斑探測以及平臺加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求,。
系統(tǒng)配置:
型號：SE300BM
探測器：陣列探測器
光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
測量角度變化：手動調(diào)節(jié)
軟件：TFProbe 3.2版本的軟件
計(jì)算機(jī)：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
電源：110–240V AC/50-60Hz,，6A
保修：一年的整機(jī)及零備件保修
規(guī)格參數(shù)
波長范圍：400nm到1000 nm
波長分辨率: 1nm
光斑尺寸：1mm至5mm可變
入射角范圍：0到90度
入射角變化分辨率：5度間隔
樣品尺寸：大直徑為200mm或者150mm邊長方形
基板尺寸：多可至20毫米厚
測量厚度范圍*：5nm?10μm
測量時間：約1秒/位置點(diǎn)
精度*：優(yōu)于0.25％
重復(fù)性誤差*：小于1 ?
選項(xiàng)配置:
用于反射的光度測量或透射測量,；
用于測量小區(qū)域的微小光斑；
用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣恿拷瞧鳎?/span>
X－Y成像平臺(X-Y模式,，取代ρ-θ模式),；
加熱/致冷平臺；
樣品垂直安裝角度計(jì),；
波長可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍,；
掃描單色儀的配置；
聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能,，可用于對樣品的圖像進(jìn)行測量等,。
相關(guān)產(chǎn)品
光譜反射分析系列：SR100、SR300,、SR500等
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自動掃描測試平臺：M100,、M150、M200等