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產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,，其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度,、反射率,、透射率、色度等的測量,，同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量,，為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了便利。

詳細(xì)介紹

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100

　AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,，其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度,、反射率、透射率,、色度等的測量,，同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量，為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了便利,。

產(chǎn)品詳情

基本功能	1,，測試單、多層透光薄膜的厚度,、折射率以及吸收系數(shù) 2,，實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測 3，實(shí)現(xiàn)反射,、投射以及顏色測量
產(chǎn)品特點(diǎn)	強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫,；簡便、易行的可視化測試界面,，可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù),；快捷、準(zhǔn)確,、穩(wěn)定的參數(shù)測試,；支持多功能配件集成以及定制；支持不同水平的用戶控制模式,；支持多功能模擬計(jì)算等等,。
系統(tǒng)配置	型號(hào)：SR100R 探測器： 2048像素的CCD線陣列光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?br /> 光傳送方式：光纖臺(tái)架平臺(tái)：特殊處理鋁合金,，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,，200mmx200mm的大小軟件： TFProbe 2.2版本的軟件通訊接口：USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連測量類型：薄膜厚度，反射光譜,，折射率電腦硬件要求：P3以上,、低50 MB的空間電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A 保修：一年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格尺寸

波長范圍：250nm到1100 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：多可至50毫米厚測量厚度范圍：2nm～50μm 測量時(shí)間：2毫秒精度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù),，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）重復(fù)性誤差*：小于1 ?
可選配件項(xiàng)	用于傳遞和吸收測量的傳動(dòng)夾具（SR100RT) ) 低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100) 在多個(gè)位置下,，多個(gè)通道用于同時(shí)測量 (SR100xX) 在超過200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測繪（SRM100-200/300）

應(yīng)用系統(tǒng)

　　主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：

　　1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

　　2 半導(dǎo)體制造(PR,，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶顯示(ITO,，PR，Cell gap...)

　　4 醫(yī)學(xué),，生物薄膜及材料領(lǐng)域等

　　5 油墨,，礦物學(xué)，顏料,，調(diào)色劑等

　　6 醫(yī)藥,，中間設(shè)備

　　7 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半導(dǎo)體化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

　　10 非晶體,，納米材料和結(jié)晶硅

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