數(shù)字式四探針測試儀 電阻率方塊電阻測量儀
型號：SN/RTS-8
北京電阻率方塊電阻測量儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
儀器由主機(jī),、測試臺、四探針探頭,、計算機(jī)等部分組成,，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計,、裝配,。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
北京電阻率方塊電阻測量儀是一個運行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析,。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
| 技 術(shù) 指 標(biāo) ： |
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測量范圍 | -5 | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),； | 恒流源 | 電流量程分為1μA,、10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,； | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字 | 整機(jī)測量 大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% | 測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 | 軟件功能（選配） | 軟件可記錄,、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù) 大值,、 小值、平均值,、 大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 | 計算機(jī)通訊接口 | 并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA,、1mA、10mA,、100mA量程檔時）,。 | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾,；
無強(qiáng)光直射； |
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