壓電石英稱重傳感器工作原理
壓電石英稱重傳感器工作原理介紹:
壓電石英稱重傳感器是利用石英晶體的縱向壓電效應(yīng)將重量信號轉(zhuǎn)換成電信號的裝置?,F(xiàn)以一個(gè) X 切割的石英晶體圓片為例,計(jì)算它的電荷、電壓,。石英晶體圓片如圖 3所示。
設(shè)石英晶體圓片直徑為d,,厚度為t,。當(dāng)石英晶體圓片沿X軸方向受外力Fx作用時(shí),在垂直于Fx的平面上產(chǎn)生電荷,,而且其外力與產(chǎn)生的電荷存在線性關(guān)系,。
將 X 切割的石英晶體片加工成稱重傳感器殼體所需要的外形和尺寸,按要求連同電極板一起裝入殼體內(nèi),,施加足夠的預(yù)緊力后,,采用圓膜片與殼體焊接密封。當(dāng)稱重傳感器受外載荷作用時(shí),,石英晶體圓片產(chǎn)生電荷,,由電極板收集傳至信號輸出插座,,再由低噪聲的同軸電纜傳輸?shù)诫姾煞糯笃鳎◣в须娙莘答伒倪\(yùn)算放大器),經(jīng)靈敏度歸一化后,,按比例的轉(zhuǎn)換成電壓輸出,。或放大器為重量信號的模擬—數(shù)字轉(zhuǎn)換提供必要的驅(qū)動,,并將此信號傳輸?shù)接?jì)算機(jī),,然后用的軟件將其轉(zhuǎn)換為重量。為了減小電荷的泄漏,,放大器的輸入端要有很高的絕緣電阻,,通常要求大于 10TΩ。電荷放大器的量程(與轉(zhuǎn)換系數(shù)有關(guān))由反饋電容確定,,通常稱為量程電容,。通過測得的電壓值,就可得到所測載荷的大小,。
利用石英晶體制造稱重傳感器時(shí),,石英晶體片有并聯(lián)和串聯(lián)連接兩種方法。 并聯(lián)連接:兩個(gè)壓電石英晶體片按極化方向相反粘結(jié),,負(fù)電荷集中在中間的負(fù)電極板上,,正電荷在兩端的正電極板上。這時(shí)相當(dāng)于兩個(gè)電容器并聯(lián),,輸出電極板上的電荷和電容量將增加一倍,。
如果有 n 個(gè)石英晶體片按并聯(lián)方式連接,此時(shí)的總輸出電荷將增加 n 倍,,電荷靈敏度也增加 n倍,,而電壓靈敏度則與單個(gè)石英晶體片工作時(shí)相同。n 個(gè)石英晶體片并聯(lián)所產(chǎn)生的電荷為:串聯(lián)連接:兩個(gè)石英晶體片按極化方向相同粘結(jié),,于是在兩個(gè)石英晶體片粘結(jié)處的中間電極板上正負(fù)電荷相互抵消,,這時(shí)總電容量為單個(gè)石英晶體片工作時(shí)的一半,電壓都增大一倍,,而總電荷量則不變,,如圖 5 所示。 若 n 個(gè)石英晶體片串聯(lián)連接,,由于輸出電壓增加 n 倍,,因此電壓靈敏度也增加 n 倍,而電荷靈敏度則與單個(gè)石英晶體片工作時(shí)相同,。
由此可得出,,多個(gè)石英晶體片并聯(lián)連接時(shí),輸出電荷量大,,電荷靈敏度高,;串聯(lián)連接時(shí),,輸出電壓大,電壓靈敏度高,。