石英晶體在稱重傳感器中的壓電效應分析
石英晶體在稱重傳感器中的壓電效應分析
石英晶體(Quartz Crystal)是二氧化硅無水化合物,分子式為Si02,是各向異性的材料,,通常用直角坐標軸來表征它的方向性,。典型的石英晶體外形和直角坐標軸如圖 1 所示,。
Z 軸是石英晶體的對稱軸,,在垂直于 Z 軸的平面上,,通過相對兩棱的直線叫 X 軸,,由于石英晶體呈六角棱形,,因此有三個 X 軸。與 X 軸和 Z軸都垂直的是 Y 軸,。X 軸稱為電軸,,Y 軸稱為中性軸(或機械軸)Z 軸稱為光軸。通常所說的 X(或 Y)切割,,就是切割出來的石英晶體片的兩個平面都與 X(或 Y)軸相垂直,。X 切割的石英晶體片如圖 2 所示。 圖 1 石英晶體 當石英晶體片沿 X 軸方向受一外力作用時,,內(nèi)部產(chǎn)生極化,,在垂直于 X 軸的兩個平面上產(chǎn)生等量的正負電荷,這種現(xiàn)象稱為縱向壓電效應。而在垂直于 Y 軸的平面上,,
石英晶體在稱重傳感器中的壓電效應分析
沿著 Y 軸的方向施加外力時,,在與 X 軸垂直的平面上產(chǎn)生電荷,這種現(xiàn)象稱為橫向壓電效應,。在 Y 切割(剪切型切割)石英晶體片中,,當在垂直于 Y 軸的平面內(nèi),沿 X 軸方向受外力作用時,,在受力表面產(chǎn)生電荷,,這種現(xiàn)象稱為剪切效應。石英晶體的壓電效應是由于在外力作用下石英晶體內(nèi)的硅原子和氧原子的位置產(chǎn)生相對變形,,正電荷和負電荷的重心互相移位所至,,產(chǎn)生的電荷由覆蓋在石英晶體表面的電極板進行收集、傳輸,。力值的計量就是直接利用這三個壓電效應,,制成單分量或多分量測力與稱重傳感器。
石英晶體在稱重傳感器中的壓電效應分析