Conductor系列控制器集成了多種電容膜片真空計(jì)(CDG)用于測(cè)量系統(tǒng)的壓力。通過(guò)調(diào)節(jié)被抽出真空系統(tǒng)的氣流量與進(jìn)入系統(tǒng)的氣流量達(dá)到平衡,，從而調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度,。

上游控制的計(jì)算示例：

真空泵的抽速：每秒2升

維持腔體壓力：10 TorrA

所需流量：實(shí)際壓力÷標(biāo)況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

使用艾里卡特真空控制器在單獨(dú)氣體供應(yīng)裝置的上游進(jìn)行壓力控制時(shí)，您無(wú)需擴(kuò)大流量,，只需使用較小的控制閥,，即可提高控制性能并減少泄漏。

即使面對(duì)快速變化的過(guò)程工況(例如流量或溫度的波動(dòng)),，艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器也能迅速控制并保持壓力穩(wěn)定在設(shè)定值,。

快速響應(yīng)

快速響應(yīng)的閥門和特殊的PID控制算法構(gòu)成了1毫秒的控制回路。

控制J準(zhǔn)

j度可溯源至NIST

通訊連接

通過(guò)以下方式輕松與您的工業(yè)網(wǎng)絡(luò)協(xié)議集成：

· Alicat*的多點(diǎn)RS-232串口通訊

· RS-485串口

· Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)

· Modbus TCP/IP

· DeviceNet

· EtherCAT

· EtherNet/IP

· Profibus

背壓控制

后置閥選項(xiàng)可以讓您的Conductor控制器控制過(guò)程腔體和真空泵之間的流量,。將控制器安裝在過(guò)程腔體和真空泵之間,，用于限制真空泵的抽氣流量，從而控制腔體的壓力上升或下降或維持穩(wěn)定,。如果你無(wú)法在系統(tǒng)上游安裝壓力控制器,，但又想j確控制系統(tǒng)壓力，就可以使用后置閥門的背壓控制器,。

概況

壓力量程

- 絕壓量程(以高真空為基準(zhǔn))

- 10,、100和1000 TorrA單傳感器模塊

- 1000＆10 TorrA雙傳感器模塊

性能

- 量程比 ≅ 1000：1

- 常規(guī)j度校準(zhǔn)，可溯源NIST：+/- 0.5％滿量程(零點(diǎn)漂移可通過(guò)真空去皮調(diào)整)

- 典型控制響應(yīng)時(shí)間：≥50ms(可調(diào))

- 傳感器響應(yīng)時(shí)間：2毫秒

- 顯示響應(yīng)時(shí)間：<10毫秒

- 傳感器預(yù)熱時(shí)間：*的預(yù)熱時(shí)間-2小時(shí)

· 適用于大部分用途的-15分鐘

運(yùn)行條件

- 氣體兼容性：與多種氣體兼容,，包括大部分具有腐蝕性的氣體

· 關(guān)于腐蝕性氣體可參閱Alicat氣體清單,，查看接液材料的兼容性。此真空壓力控制器不適用于液態(tài)水

- 接液材料：302,、303,、304和430FR不銹鋼、黃銅,、FKM和FFKM,、氧化鋁,、可選316L不銹鋼主體

- 工作溫度：+10至+ 50°C

- 傳感器損壞壓力：6 kTorrG(116 PSIG)

工藝連接件

- Compression

- SAE

- 偉洛克®(包括管，VCO®和VCR®)

電氣接頭

- 6針鎖緊型工業(yè)接頭

- 標(biāo)準(zhǔn)8針mini-DIN接頭

- 8針螺紋型M12接頭

- 9針引腳

- 15針引腳

如果我們內(nèi)置的CDG真空傳感器無(wú)法滿足你的量程或性能的需求,，或您想使用自己的真空傳感器,，請(qǐng)與Alicat 中國(guó)代表處聯(lián)系以獲得協(xié)助，以確保您的控制器能夠快速穩(wěn)定的運(yùn)行,。

Conductor

用于真空控制的快速響應(yīng)絕壓控制器

Conductor系列集成真空壓力控制器 | 產(chǎn)品介紹

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