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1.  簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng) 
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等,。它們的制程簡(jiǎn)單,，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低,。

2. 由于氣體流量小,，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）,。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板,；配置繼電器控制，自動(dòng)切換,，手動(dòng)吹掃,，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥,。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,，甚至沒(méi)有氣體房,，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁,。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng),。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

2. 常規(guī)供氣系統(tǒng) 
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,，系統(tǒng)配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣,。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜,。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏,；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器,，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空,；多重安全防護(hù)措施,，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷,；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空,。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制,，自動(dòng)切換,，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空,；VMB主管氣動(dòng)閥,，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥,，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi),。