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氣路管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
閱讀：2286 發(fā)布時(shí)間：2023-4-19
氣路管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
1.材料的選擇
特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,，閥門一般采用高純調(diào)壓閥,、隔膜閥、高精密過濾器,、(<0.003微米),、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin,。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管。
2.管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀的感覺,。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定,，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性,，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,，對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方,，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里,。
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS,，BCl3,，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱,，氣體面板加熱,，管道伴熱等。為了精確控制流量,，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器,、電子秤、溫控器等,。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒,、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB,、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角,。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,，中間沒有三通,。最后管道還要有良好的接地。
3.輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng),，閥門,、接頭、過濾器等的更換,、或其他原因,、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝?，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。
其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥,，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換,，所以還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管,，CDA可采用SUS316L-BA管,，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計(jì)算決定。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),，但有的氣體如ClF3,硅烷遇水反應(yīng),，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng),。
排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX),、酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX),、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX),。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管，酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管,，溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管,。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。氣體的放空是指特氣管道和氣柜中的特氣經(jīng)氮?dú)庀♂尯笥煞趴展艿琅欧诺酱髿饣蚺棚L(fēng)系統(tǒng)中,，有的劇毒性或高危害性的氣體建議排放到尾氣處理器中經(jīng)處理后排放至相應(yīng)的排風(fēng)系統(tǒng)中,。放空系統(tǒng)一般采用SUS304不銹鋼管道，一直延伸到屋頂,，高出屋面兩米左右,，并設(shè)防雨罩。