【掃描鏡】無(wú)萬(wàn)向節(jié)MEMS掃描鏡(Mirrorcle),。光學(xué)掃描鏡是一種矢量掃描設(shè)備,,能使入射光束按照特定的方式與時(shí)間順序發(fā)生反射,從而在像面上實(shí)現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡體積大,、成本高,,且多為散裝,大大限制了其應(yīng)用,。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡,,MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低,、掃描頻率高,、響應(yīng)速度快和功耗低等優(yōu)點(diǎn),以被廣泛的應(yīng)用在光通信,、掃描成像,、激光雷達(dá)、內(nèi)窺鏡,、3D掃描成像等領(lǐng)域,。