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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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CNI v3.0納米壓印機(jī)是一款即插即用的桌面緊湊型的納米壓印工具,，可以進(jìn)行UV和熱納米壓印,，也可以進(jìn)行UV和熱納米聯(lián)合壓印！能夠輕松復(fù)制從小于40 nm的結(jié)構(gòu)復(fù)制到大于100µm的結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu),；壓印尺寸為4inch或8inch晶圓,；熱壓印溫度高達(dá)250℃，溫度精度±1℃,；

對(duì)于紫外壓印模塊,，UV LED具有溫度監(jiān)控和過(guò)熱保護(hù)功能，峰值波長(zhǎng)365nm或405nm,；對(duì)于365nm LED,，輸出< 10%的峰值在波長(zhǎng)小于355 nm或大于385 nm； UV光功率覆蓋全部腔體>最大功率的10%,；4顆UV LED,，綜合光功率11.6 W，100 mW/cm²,；

壓印腔室可抽真空至1mbar,，納米壓印壓力范圍0.3-11bar；壓印腔室高度為最高可達(dá)45mm,。

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