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quDIS皮米級(jí)精度位移測(cè)量激光干涉儀,，沒(méi)有非線性誤差

發(fā)布時(shí)間：2023-10-16 播放次數(shù)940次

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德國(guó)quDIS激光干涉儀是一種具有高信號(hào)穩(wěn)定性和對(duì)比度無(wú)關(guān)測(cè)量算法的共焦位移傳感器,。quDIS是基于法布里-珀羅或邁克爾遜裝置的干涉儀，主要用于科研和工業(yè)的納米皮米級(jí)別微位移和振動(dòng)等測(cè)量,。

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