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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2025-01-17 11:20:57
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在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們，請(qǐng)說(shuō)明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,，謝謝?。?/p>
在線方塊電阻測(cè)試儀
EddyCus TF inline在線 方塊電阻測(cè)試儀可以測(cè)量薄層的性能，如金屬層厚度,，薄層電阻,，輻射系數(shù)，殘余水分或在各種基材上的非接觸克重,。相關(guān)基材有玻璃,、箔、紙,、晶圓片,、塑料或陶瓷。通過(guò)常駐測(cè)量或觸發(fā)事件進(jìn)行監(jiān)測(cè),，以在快速移動(dòng)的涂層過(guò)程中獲得等距離的結(jié)果,。檢測(cè)解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施?；陔姕u流技術(shù)的檢測(cè)過(guò)程高采樣率更高,。可以使用客戶的軟件為過(guò)程控制系統(tǒng)提供測(cè)量結(jié)果,。此外,，SURAGUS還提供監(jiān)控軟件EddyCus EC Control，可視化,、存儲(chǔ)和分析計(jì)量數(shù)據(jù),。
在線 方塊電阻測(cè)試儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
高測(cè)量速度高達(dá)1000次/秒。
傳感器固定安裝或傳感器橫貫安裝
每個(gè)系統(tǒng)集成1 - 99個(gè)監(jiān)控通道
在大氣或真空的過(guò)程控制
在許多應(yīng)用中,，非常接近襯底邊緣的測(cè)量是可能的
在變化的環(huán)境中通過(guò)溫度補(bǔ)償測(cè)量的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
與測(cè)試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)
覆蓋導(dǎo)電層或封裝襯底的表征
眾多軟件集成分析
在線 方塊電阻測(cè)試儀測(cè)量?jī)?nèi)容及范圍：
薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq
金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據(jù)材料電導(dǎo)率)
電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm
殘余水分(用非接觸式介電常數(shù)測(cè)量濕層)
電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)
關(guān)聯(lián)屬性
克重: 0.1 to 1,000 g/sqm
輻射系數(shù): 0.005 to 0.2
EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可在生產(chǎn)過(guò)程中直接對(duì)方塊電阻進(jìn)行高速,、非接觸式測(cè)量。典型的工藝包括PVD, CVD,，在晶圓,，箔，紙,，聚合物或其他基板上的電沉積或常規(guī)沉積工藝,。特別是這些工藝包括濺射、蒸發(fā)、外延或電鍍工藝,。此外,，這也涉及噴涂，槽模涂層或電子印刷過(guò)程,。此外,，片狀電阻增強(qiáng)過(guò)程，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子產(chǎn)品的燒結(jié),，受益于電氣完整性的在線監(jiān)測(cè),。氧化、蝕刻,、拋光以及清洗和干燥過(guò)程的影響也是這種測(cè)試技術(shù)廣泛應(yīng)用范圍的一部分,。薄片電阻值通常轉(zhuǎn)移到MES系統(tǒng)，以保證質(zhì)量,，特別是過(guò)程控制,。
在線方塊電阻測(cè)試儀規(guī)格指標(biāo)：
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關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器,、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備,、光學(xué)元件等,，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊,、生物醫(yī)療,、科學(xué)研究、國(guó)防,、量子光學(xué),、生物顯微、物聯(lián)傳感,、激光制造等,；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn),，硬件開(kāi)發(fā),，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù),。
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