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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2025-01-17 11:20:57
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在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們,，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,，謝謝?。?/p>
在線方塊電阻測試儀
EddyCus TF inline在線 方塊電阻測試儀可以測量薄層的性能,，如金屬層厚度,，薄層電阻，輻射系數(shù),，殘余水分或在各種基材上的非接觸克重,。相關(guān)基材有玻璃、箔,、紙,、晶圓片、塑料或陶瓷,。通過常駐測量或觸發(fā)事件進(jìn)行監(jiān)測,，以在快速移動(dòng)的涂層過程中獲得等距離的結(jié)果。檢測解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施,?；陔姕u流技術(shù)的檢測過程高采樣率更高?？梢允褂每蛻舻能浖檫^程控制系統(tǒng)提供測量結(jié)果,。此外,，SURAGUS還提供監(jiān)控軟件EddyCus EC Control，可視化,、存儲(chǔ)和分析計(jì)量數(shù)據(jù),。
在線 方塊電阻測試儀產(chǎn)品優(yōu)勢：
非接觸式實(shí)時(shí)測量
高測量速度高達(dá)1000次/秒。
傳感器固定安裝或傳感器橫貫安裝
每個(gè)系統(tǒng)集成1 - 99個(gè)監(jiān)控通道
在大氣或真空的過程控制
在許多應(yīng)用中,，非常接近襯底邊緣的測量是可能的
在變化的環(huán)境中通過溫度補(bǔ)償測量的長期穩(wěn)定性
與測試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)
覆蓋導(dǎo)電層或封裝襯底的表征
眾多軟件集成分析
在線 方塊電阻測試儀測量內(nèi)容及范圍：
薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq
金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據(jù)材料電導(dǎo)率)
電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm
殘余水分(用非接觸式介電常數(shù)測量濕層)
電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)
關(guān)聯(lián)屬性
克重: 0.1 to 1,000 g/sqm
輻射系數(shù): 0.005 to 0.2
EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監(jiān)測系統(tǒng)可在生產(chǎn)過程中直接對方塊電阻進(jìn)行高速,、非接觸式測量。典型的工藝包括PVD, CVD,，在晶圓,，箔，紙,，聚合物或其他基板上的電沉積或常規(guī)沉積工藝,。特別是這些工藝包括濺射、蒸發(fā),、外延或電鍍工藝,。此外，這也涉及噴涂,，槽模涂層或電子印刷過程,。此外，片狀電阻增強(qiáng)過程,，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子產(chǎn)品的燒結(jié),，受益于電氣完整性的在線監(jiān)測。氧化,、蝕刻,、拋光以及清洗和干燥過程的影響也是這種測試技術(shù)廣泛應(yīng)用范圍的一部分。薄片電阻值通常轉(zhuǎn)移到MES系統(tǒng),，以保證質(zhì)量,，特別是過程控制。
在線方塊電阻測試儀規(guī)格指標(biāo)：
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關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,，產(chǎn)品包括各類激光器,、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備,、光學(xué)元件等,，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊,、生物醫(yī)療,、科學(xué)研究、國防,、量子光學(xué),、生物顯微、物聯(lián)傳感,、激光制造等,；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn),，硬件開發(fā),，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù),。
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