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更新時(shí)間：2025-03-18 16:42:54
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薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)
MProbe 20是一款桌面式單點(diǎn)薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),，只需點(diǎn)擊鼠標(biāo)薄膜厚度和折射率測(cè)量，測(cè)量厚度范圍1nm-1mm,，MProbe 20可對(duì)多層膜層進(jìn)行測(cè)量,。不同的MProbe 20配置主要由光譜儀的波長(zhǎng)范圍和分辨率來區(qū)分，這又決定了可以測(cè)量的材料的厚度范圍和類型,。該測(cè)量技術(shù)基于光譜反射率,，具有快速、可靠,、無損等特點(diǎn),。在世界范圍內(nèi)有成千上萬的應(yīng)用。
Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)配置包括：
主單元(包括光譜儀,、光源,、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺(tái)，帶對(duì)焦鏡頭,，可微調(diào)
光導(dǎo)纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件,、USB適配器(授權(quán)密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發(fā)行,、用戶指南等資料
根據(jù)型號(hào)和黑色吸收體的不同,，校準(zhǔn)裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測(cè)試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜，視型號(hào)而定
USB或LAN線(用于連接主機(jī)和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)
Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)核心指標(biāo):
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測(cè)量100次)
精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
穩(wěn)定性:< 0.02nm或0.2%(每天測(cè)量20天)
光斑大小:< 1毫米
樣本尺寸:>= 10mm
參見下面小冊(cè)子中MProbe 20薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)可用配置的詳細(xì)規(guī)格
Mprobe 20 薄膜測(cè)量系統(tǒng) (單點(diǎn)測(cè)量)選型列表：
MProbe 20 | 波長(zhǎng)范圍 | 厚度范圍 |
VIS | 400nm -1100nm | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1700nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -800nm | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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