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更新時(shí)間：2025-03-03 10:33:44
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膜厚測(cè)量?jī)x（測(cè)量厚度1nm~1.8mm）
MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY
美國(guó)Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測(cè)厚儀測(cè)量厚度可以低至1nm,，厚至1.8mm，埃級(jí)分辨率,，非接觸式無(wú)損快速測(cè)量,。廣泛應(yīng)用在各種生產(chǎn)或研究中，比如測(cè)量薄膜太陽(yáng)能電池的CIGS層,，觸摸屏中的ITO層等,。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量,。
測(cè)量原理：當(dāng)規(guī)定波長(zhǎng)范圍的光照射到薄膜上時(shí)，從不同界面上反射的光相位不同,，從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長(zhǎng)或相消,。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過(guò)對(duì)這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù),。
比如：
半導(dǎo)體（硅,，單晶硅，多晶硅）
半導(dǎo)體化合物（AlGaAs, InGaAs,，CdTe, CIGS）
微電子機(jī)械（MEMS）
氧化物/氮化物
光刻膠
硬涂層（碳化硅,，類金剛石炭）
聚合物涂層（聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯,，聚酰胺）
高分子聚合物
MProbe膜厚測(cè)量?jī)x操作簡(jiǎn)單,，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息,，膜厚測(cè)量設(shè)備可支持不同光譜范圍,，光譜范圍可達(dá)200-1700nm，因此可測(cè)量厚度范圍可從1nm到2mm,。 設(shè)備中無(wú)移動(dòng)組件,，所以測(cè)量結(jié)果幾乎是即時(shí)得到的；TFCompanion測(cè)量軟件使得測(cè)量過(guò)程非常簡(jiǎn)單且透明,，測(cè)量歷史,、動(dòng)態(tài)測(cè)量、模擬,、顏色分析,、直接在樣品圖像上顯示結(jié)果。
膜厚測(cè)量?jī)x分類：
1,、單點(diǎn)膜厚測(cè)量——MPROBE-20
MPROBE-20膜厚測(cè)量?jī)x是一款臺(tái)式單點(diǎn)膜厚測(cè)量設(shè)備,，設(shè)備操作簡(jiǎn)單，一鍵獲得樣品的厚度和折射率,，并可提供不同波段范圍（適用于不同厚度薄膜）選擇,。MPROBE-20具有以下幾種型號(hào)，客戶可根據(jù)自己所需的波長(zhǎng)范圍和薄膜厚度進(jìn)行選擇,。
可供選擇型號(hào)：
型號(hào) | 波長(zhǎng)范圍 | 核心配置 | 厚度范圍 |
VIS | 200nm -1100nm | F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 700nm -1100nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp | 1nm -75μm |
VIS-HR | 900nm-1700nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp | 1μm-400μm |
NIR | 200nm-800nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -1700nm | F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 1500nm-1550nm | F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
2,、單點(diǎn)手持膜厚測(cè)量——MPROBE HC
MPROBE HC膜厚測(cè)量?jī)x是一款基于MPROBE-20平臺(tái)開(kāi)發(fā)專用于測(cè)量曲面和大型零件上的涂層，用手動(dòng)探針代替樣品臺(tái),。
主要參數(shù)：
精度 | 0.01nm或0.01% |
準(zhǔn)確度 | 0.2%或1nm |
穩(wěn)定性 | 0.02nm或0.03% |
聚焦點(diǎn)尺寸 | 0.2mm或0.4mm |
樣品尺寸 | >25mm |
厚度范圍 | 0.05-70um |
3,、聚焦光斑膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 40
MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚測(cè)量系統(tǒng)，該產(chǎn)品將顯微系統(tǒng)和膜厚測(cè)量設(shè)備結(jié)合起來(lái)，用于對(duì)膜厚的微區(qū)測(cè)量,，光斑可達(dá)2μm,。該設(shè)備集成相機(jī)和軟件，可精確顯示待測(cè)位置,，并同時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果,。
該設(shè)備有不同波長(zhǎng)范圍可選，可供選擇的產(chǎn)品型號(hào)如下：
4,、原位測(cè)量膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 50 INSITU
MPROBE 50 INSITU是一款支持原位測(cè)量膜厚測(cè)量?jī)x,，該設(shè)備采用門控?cái)?shù)據(jù)采集方式因此可以在高環(huán)境光的條件下工作。此外該型號(hào)膜厚測(cè)量?jī)x支持定制以滿足不同形狀的真空腔,。根據(jù)可用的光學(xué)窗口，支持斜入射和垂直入射,。光線可以聚焦樣品表面或準(zhǔn)直,探測(cè)探頭可以放置在沉積室光學(xué)端口內(nèi)部或外部,，由于該膜厚測(cè)量?jī)x沒(méi)有移動(dòng)部件，通常測(cè)量時(shí)間約10ms,。
此外該型號(hào)還有多種波段范圍可選,，可供選擇型號(hào)如下
5、支持Mapping的聚焦膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 60
MPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚測(cè)量設(shè)備,，重復(fù)精度可達(dá)0.01nm,，精度可達(dá)1nm，mapping面積可達(dá)300*300mm,。并支持多種波長(zhǎng)范圍可選,。
可選波長(zhǎng)型號(hào)：
6、在線膜厚測(cè)量?jī)x——MProbe 70
MProbe 70是一款高性能膜厚測(cè)量?jī)x,，主要設(shè)計(jì)用于24/7生產(chǎn)線上的連續(xù)測(cè)量,。該設(shè)備主要有兩種配置一個(gè)是在產(chǎn)線上配備多個(gè)固定的探頭，第二種是將探頭裝在掃描儀上掃描,。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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