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quDIS-皮米精度位移激光干涉儀
  • quDIS-皮米精度位移激光干涉儀

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-03-03 10:33:44

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昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器,,基于其*的測(cè)量原理,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米,。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道,,使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,,不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過(guò)皮米精度位移激光干涉儀

皮米精度位移激光干涉儀

昊量光電推出的皮米精度位移干涉測(cè)量?jī)xquDIS是對(duì)納米級(jí)別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測(cè)的理想儀器,,基于其*的測(cè)量原理,,相對(duì)距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米,。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測(cè)量通道,使其可以適用于任意的多軸測(cè)量中,。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,,不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,,通過(guò)激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描,,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的絕對(duì)距離測(cè)量,,基于這種測(cè)量方式,,使得quDIS相對(duì)其他產(chǎn)品測(cè)量距離可以達(dá)到20M的同時(shí)保持高精度,且與信號(hào)對(duì)比度和強(qiáng)度無(wú)關(guān),,由于使用整個(gè)干涉模式來(lái)提取位移信息,,因此不存在非線性誤差此外,,quDIS不僅可以獲得位置,、速度和加速度等信息,折射率,、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中提取得到,。


皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 多維度多通道位移干涉器,操作簡(jiǎn)單,,即插即用

  • 相對(duì)距離和絕對(duì)距離測(cè)量

  • 完善的全套系統(tǒng)配置

  • 實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像

  • 針對(duì)不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

  • 長(zhǎng)期使用保證穩(wěn)定性

  • 兼容真空與各種惡劣環(huán)境


皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢(shì):

  • 絕對(duì)距離高精度測(cè)量,!

  • 不存在非線性及周期性誤差!

  • 相對(duì)距離信號(hào)穩(wěn)定性<0.05nm,!

  • 工作距離最大20m(與傳感頭相關(guān))

  • 目標(biāo)最大速度1m/s

  • 三個(gè)傳感接口,,可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步

  • 探測(cè)器分辨率達(dá)到1pm


皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:

  •  極限環(huán)境下振動(dòng)分析

  •  緩慢漂移及熱膨脹檢測(cè)

  •  精密設(shè)備位置控制

  •  納米級(jí)位移測(cè)量

  •  層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測(cè)量

  •  位移和振動(dòng)精度評(píng)估


皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表:

干涉儀傳感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相對(duì)距離穩(wěn)定性< 0.05nm
波長(zhǎng)1535nm絕對(duì)距離精度<0.2nm/mm
線寬<5MHz帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標(biāo)速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺(tái)設(shè)備同步低溫












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