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IMOS-納米表面輪廓儀
  • IMOS-納米表面輪廓儀

貨物所在地:上海上海市

地: 國外

更新時(shí)間:2025-02-06 16:17:51

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IMOS納米表面輪廓儀實(shí)現(xiàn)了精確,、定量,、iso兼容、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征,,在短短幾秒鐘內(nèi)可捕獲多達(dá)200萬個數(shù)據(jù)點(diǎn),。選擇正確的光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)取決于您的應(yīng)用程序的要求,包括速度,、精度,、垂直范圍、自動化和靈活性,。

納米表面輪廓儀

IMOS納米表面輪廓儀實(shí)現(xiàn)了精確、定量,、iso兼容,、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征,在短短幾秒鐘內(nèi)可捕獲多達(dá)200萬個數(shù)據(jù)點(diǎn),。選擇正確的光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)取決于您的應(yīng)用程序的要求,,包括速度、精度,、垂直范圍,、自動化和靈活性。

IMOS光學(xué)表面輪廓儀在非接觸式光學(xué)表面輪廓方面提供了強(qiáng)大的通用性,。有了該系統(tǒng),,它可以方便快捷地測量各種表面類型,包括光滑,、粗糙,、平坦、傾斜和階梯,。所有的測量都是無損的,,快速的,,不需要特殊的樣品準(zhǔn)備。納米表面輪廓儀系統(tǒng)的核心是部分相干光干涉技術(shù),,它提供亞納米精度測量更廣泛的表面比其他商業(yè)可用技術(shù),。

 

IMOS 納米表面輪廓儀提供了不同的應(yīng)用程序的特殊價(jià)值,如平直,,粗糙度,,波浪形,臺階高度等等,。
IMOS 納米表面輪廓儀配備了一個變焦頭,,可以填充離散變焦光學(xué)定制的系統(tǒng)。樣本分段配置范圍從*自動化到*自動化的編碼行程,。

IMOS 納米表面輪廓儀提供高精度測量,,易于使用,快速測量,,有吸引力的價(jià)格,,使其成為多功能3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。

 

納米表面輪廓儀主要優(yōu)點(diǎn):

- 納米模式下的Z軸分辨率:

       ~ 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)

             ~ 0.3um微地貌模式下

- 外形緊湊;

- 快速響應(yīng);

- 抗外部振動;

- 測量過程自動化程度高;

- 特殊的用戶友好的界面;

- 高質(zhì)量的圖形界面,,以工作與多計(jì)劃三維表示的測量結(jié)果;

- 廣泛的可能性配置的顯微鏡,,以各種形態(tài)-邏輯的測量表面;

- 能夠工作在兩種模式:微浮雕和納米浮雕;

- *的存儲系統(tǒng)和測量結(jié)果的系統(tǒng)化。

 

在硅基板上的Pd薄膜,,高度100nm硅晶體表面的階地,,高度為0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm

 

微起伏模式下的測量結(jié)果

硅晶體表面的階地,,高度為0.314nm   
認(rèn)證口徑,,標(biāo)稱高度值為101nm±3%

 

IMOS納米表面輪廓儀組成 
光電探測器*
矩形ccd-1392*1040 px

光源 * 
LED (λeff = 630 nm)

顯微物鏡*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不變

壓電掃描振鏡

位移臺

1d (Z) range 50 mm 
2d (XY) range 75x50 mm

控制器
CCD-相機(jī)抓幀器
位移臺控制器
設(shè)備控制器 

計(jì)算機(jī) 

軟件
Software for working with IMOS
System / MS Windows

* – 按客戶需求 

 

 

微地貌模式下的測量結(jié)果
認(rèn)證口徑, 厚 40 ± 1,2 μm   
衍射元件, 厚 3,7 μm
技術(shù)指標(biāo)     
測量區(qū)域 
0,4x0,3 mm2 (for 20X) 
 
像素尺寸 
0,3 μm (for 20X) 
 
橫向分辨率
Not worse 1 μm 
 
測量模式 
微地貌模式
微起伏模式 
 
Z軸分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror) 
 
測量范圍 
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm 
 
測量速度 
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s 

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