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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-12-02 10:00:50
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納米平移臺（壓電馬達型,，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺，是由超聲波壓電馬達驅(qū)動,，可提供不同行程的精確定位,。由于采用超聲波壓電馬達驅(qū)動，速度可達到200mm/s,，并且該平臺非常適用于掃描,，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%,。
該平臺采用超聲波馬達,，對于這種馬達平臺的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示,。通過橢圓的振蕩推動平臺產(chǎn)生微小移動,，并通過高頻率產(chǎn)生*的速度，并且沒有噪聲,，電機在定位后可產(chǎn)生自鎖,，由于馬達在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺可提供不同的行程,，行程范圍可達到100mm。為了適應不同精度要求的應用,，平臺集成不同精度的位置傳感器,，目前可提供的位置傳感器有1.25μm；330nm,；78nm和1nm具體參數(shù)如下圖所示：
此外根據(jù)不同應用可以選擇不同行程的平臺,，可提供平臺行程參數(shù)如下：
此外，由于該平臺采用模塊化設計,，可以組成多維位移平臺,，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺,。
主要特點：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應用：
l 光電子學
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產(chǎn)
l 醫(yī)學和材料科學
l 生命科學與生物技術學
l 顯微鏡和計量學
納米平移臺（壓電馬達型,，10-1500mm行程）
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