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更新時(shí)間：2024-10-23 14:33:45
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皮米精度位移測(cè)量?jī)x
昊量光電推出的皮米精度位移測(cè)量?jī)xquDIS是低至納米范圍位移測(cè)量的理想儀器,，達(dá)到了*50pm的重復(fù)精度,。quDIS支持三個(gè)測(cè)量通道，使其可以適用于任意多軸測(cè)量應(yīng)用,。皮米精度位置測(cè)量?jī)x同樣采用激光干涉法,，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考,，通過激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描,，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的距離測(cè)量,。因此,，皮米精度位移測(cè)量?jī)x不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,，折射率,、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號(hào)中得到。
干涉?zhèn)鞲蓄^
根據(jù)反射目標(biāo)的不同,，所有應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直,、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實(shí)現(xiàn)的,。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖的,，除了標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和已建立的聚焦頭，quDIS還為惡劣環(huán)境下的應(yīng)用程序設(shè)計(jì)了特殊的頭,。
用于測(cè)量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計(jì)
鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)直頭
產(chǎn)品關(guān)鍵特性：
信號(hào)穩(wěn)定性：< 0.05nm
距離測(cè)量
0.1——20m工作距離
工作帶寬25kHz
目標(biāo)速度1m/s
3個(gè)傳感頭,，多設(shè)備同步
應(yīng)用領(lǐng)域：
干涉距離測(cè)量
振動(dòng)分析
束線中斷補(bǔ)充
間隙和邊緣測(cè)量
環(huán)境振動(dòng)分析
位移臺(tái)精度評(píng)估
皮米精度位置測(cè)量?jī)x參數(shù)列表：
| 干涉儀 | 傳感頭 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <400uW | 信號(hào)穩(wěn)定性 | < 0.05nm |
| 波長(zhǎng) | 1535nm | 距離穩(wěn)定性 | <200nm |
| 線寬 | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
| 傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 0.1—20m |
| 光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標(biāo)速度 | <1m/s |
| Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
| 同步 | 多臺(tái)設(shè)備同步 | 低溫 | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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