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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-09-09 16:31:50
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納米級高速大行程壓電馬達平移臺
AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點,。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺,。
該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子,，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動,，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米,，高頻的信號,，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s,。
理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度,，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制,，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm,，在滿足大行程的同時實現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力,，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能,，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量,，提高了位移平臺的精度,。
此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計,，因此該平移臺可以組成多維位移平臺,，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。
主要特點：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical)
|
納米級高速大行程壓電馬達平移臺
AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點,。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺,。
該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動,，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動,，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號,，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動,。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。
理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度,，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm,，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm,，在滿足大行程的同時實現(xiàn)了高的精度,。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能,，使位移平臺依然保持在原位,。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度,。
此外,，由于該平臺采用模塊化設(shè)計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺,，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺,。
主要特點：
l 大行程 （92mm）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
AU-XLS | |
Minimum travel range | 19 mm |
Maximum travel range: | 92 mm |
Load capacity | < 1kg |
Holding / driving force | ~ 1N |
Min. step size | 500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder] |
Max. speed | 400mm/s |
Min. speed | 1mm/s |
Constant speed | +/- 1% at typical scan speed |
Lifespan | > 100 km (typical)
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