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高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
400X300高分辨率,、500um高動態(tài)范圍,、高性價比,、同時檢測波前與M^2波前傳感器！
關鍵詞：波前傳感器,、波前分析儀,、波前像差儀、傳感器,、波前測試儀,、波前探測器、激光波前分析儀,、哈特曼波前分析儀,、虹膜定位、哈特曼波前傳感器,、波前象差,、高分辨率波前分析儀、波前測量儀,、激光光束及波前分析儀,、夏克 哈特曼、鏡頭MTF
公司自主研發(fā)的波前傳感器是基于四波橫向剪切干涉技術,。SID4系列波前分析儀相較傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測器具有高分辨率,、消色差、高靈敏度,、高動態(tài)檢測范圍,、操作簡便等*的優(yōu)勢。為波前像差,、波前畸變的檢測以及激光光束及波前的測量,、分析，眼科虹膜定位波前像差引導等提供了全新的解決方案,！波前探測器配套的軟件界面友好,，可直觀的輸出高分辨率相位圖和光束強度分布圖。
高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
波前傳感器生產廠家具有雄厚的技術研發(fā)實力,，能為客戶提供的各種自適應光學系統(tǒng)OA-SYS(Adaptive Optics Loops),，制定個性化解決方案?？筛鶕蛻舻膽眯枨?，為客戶推薦zui合適的SID4波前傳感器、可變形鏡或空間光調制器,、自適應光學系統(tǒng)操作軟件等,。
圖1 波前校正前與校正后對比
波前探測器依據其四波橫向剪切干涉技術，對哈特曼掩模技術進行了大的升級,、改進,。波前傳感器將400X300的超高分辨率和500um的超大動態(tài)范圍*結合在了一起,。可以滿足不同的客戶的應用需求,，可對激光光束進行光強,、位相、PSF（點擴散函數）,、MTF（調制傳遞函數）,、OTF（光學傳遞函數）、波前像差,、M^2等進行實時,、簡便、快速的測量,。
*部 產品介紹
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器
公司將 SID4的波前測量波長范圍擴展到190nm-400nm,。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前傳感器,非常適用于光學元件測量（例如印刷、半導體等等）和表面檢測（半導體晶片檢測等）,。
特點：
u 高分辨率（250x250）
u 通光孔徑大（8.0mmx8.0mm）
u 覆蓋紫外光譜
u 靈敏度高（0.5um）
u 優(yōu)化信噪比
圖2 SID4-UV波前分析儀
SID4 波前傳感器
可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相,、強度分布，波前像差,，激光的M2,，澤尼克參數等進行實時的測量及參數輸出。
特點：
Ø 波長范圍：400-1100nm
Ø 分辨率高（160x120）
Ø 消色差
Ø 測量穩(wěn)定性高
Ø 對震動不敏感
Ø 操作簡單
Ø 結構緊湊,，體積小
Ø 可用筆記本電腦控制
圖3 SID4位相檢測
可用于檢測各種透鏡,，光學系統(tǒng)的檢測，可以對透鏡,、光學系統(tǒng)的進行實時的PSF（點擴散函數）,、MTF（調制傳遞函數）、OTF（光學傳遞函數）,、波前像差測量及參數輸出,。相對于傳統(tǒng)的透鏡檢測設備像：傳函儀、干涉儀,，具有操作簡便,，測量精度高，參數輸出方便等優(yōu)點,，正在被越來越多的客戶推崇,。
特點：
u 波長范圍：400-1100nm
u 高性能的相機，信噪比高
u 實時測量,，立即給出整個物體表面的信息（120000個測量點）
u 曝光時間極短,保證動態(tài)物體測量
u 操作簡單
圖4 SID4-HR
圖5 SID4-HR傳遞函數檢測
SID4 NIR 波前分析儀
主要針對1550 nm（1.5um-1.6um）激光的檢測,，具有分辨率高高靈敏度,、高動態(tài)范圍,、操作簡便等*的優(yōu)勢,。可用于光學測量,，SID4 NIR是測量紅外物體和紅外透鏡像差,、PSF、MTF和焦距及表面質量的理想工具,。
特點：
² 高分辨率（160x120）
² 快速測量
² 性價比高
² 測量
² 對振動不敏感
圖6 SID4 NIR激光波前檢測
SID4 DWIR 波前儀
具有寬波段測量的特點,。可以實時的檢測3-5um和8-14um的波前位相,，強度分布等響應的波前信息,。可以很好的滿足紅外波段客戶的波前檢測需求,。
特點：
u 光學測量：SID4 DWIR是測量紅外物體特性（熱成像和安全視覺）或紅外透鏡（CO2激光器）的理想工具,，輸出結果包括MTF，PSF,，像差,，表面質量和透鏡焦距。
u 光束測量：（CO2激光器,，紅外OPO激光光源等等）SID4 DWIR提供詳盡的光束特性參數：像差,，M2，光強分布,，光束特性等
u 高分辨率（96x72）
u 可實現(xiàn)測量
u 可覆蓋中紅外和遠紅外波段 大數值孔徑測量,，無需額外中轉透鏡
u 快速測量 對振動不敏感
u 可實現(xiàn)離軸測量
u 性價比高
圖7SID4 DWIR
SID4產品型號參數匯總
型號 | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔徑尺寸（mm2） | 3.6 x4.8 | 8.9 x11.8 | 8.0 x8.0 | 3.6x4.8 | 13.44x10.08 | 9.6x7.68 |
空間分辨率(um) | 29.6 | 29.6 | 32 | 29.6 | 140 | 120 |
測量點數 | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波長范圍 | 350-1100 nm | 350-1100 nm | 190-400 nm | 1.5-1.6µm | 3-5µm 8-14µm | 0.9- 1.7µm |
精準度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
動態(tài)范圍 | >100µm | >500µm | >200um | >100µm | / | ~100µm |
采樣速度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 60fps |
處理速度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
第二部 控制軟件
SID4波前分析儀控制軟件
SID4波前分析儀控制軟件與SID4 波前傳感器配套提供的是一款完整的分析軟件，其集成了高分辨率的相位圖與強度分布圖,，測量光強分布和波前信息,。
借助Labview和C++ 可編程模塊數據庫（軟件二次開發(fā)工具包），客戶能夠根據自身的需要編寫各種相位測量與編譯模塊,。
Adaptive Optics Loops將SID4 Wavefront Sensor結合您的應用,，選配合適的可變形鏡或相位調制器，提供整套的自適應光學系統(tǒng),。減小任何一個光學系統(tǒng)的相差從來都不是簡單的,，我們的產品能為激光光束和成像系統(tǒng)帶來更可靠，高精度的解決方案,。
圖8 SID4控制界面
SID4光學測量軟件Kaleo
基于剪切干涉的波前傳感器與專門設計的光學測量軟件Kaleo結合,，可以測量球面鏡和非球面鏡的像差及MTF等信息。只需要幾秒鐘,，我們的儀器為您呈現(xiàn)絕大部分的光學參數,，如焦距，光腰，MTF,，像差,，Zernike系數，曲率半徑,，PSF等,。
第三部 與傳統(tǒng)哈特曼波前分析儀比較
與傳統(tǒng)哈特曼波前傳感器測量結果對比：
技術參數對比：
| PHASICS | Shack-Hartmann | 區(qū)別 |
技術 | 剪切干涉 | 微透鏡陣列 | PHASICS投放市場時，已經申請技術,，是對夏克-哈特曼技術的升級 |
重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)或模式法 | 夏克-哈特曼波前探測器,，局域導數以微透鏡單元區(qū)域的平均值來近似，誤差大 |
強度 | 對強度變化不敏感 | 對強度變化靈敏 | PHASICS測量精度高,，波前測量不依賴于強度水平 |
校準 | 用針孔校準,、方便快捷 | 安裝困難，需要精密的調節(jié)臺 | PHASICS使用方便 |
取樣點 | SID4-HR達300X400測量點 | 128X128測量點（多個微透鏡） | PHASICS具有更高的分辨率 |
數值孔徑 | NA：0.5 | NA：0.1 | PHASICS動態(tài)范圍更高 |
分辨率 | 29.6μm | 115μm | PHASICS具有更高的空間分辨率 |
測量精度 | 2nm RMS | 5nm RMS | PHASICS更好的測量精度 |
獲取頻率 | 60fps | 30fps | PHASICS獲取速度快 |
處理頻率 | >10Hz | 30Hz | PHASICS可滿足大部分處理要求 |
消色差 | 無需對每個波長進行校準 | 需要在每個波長處校正 | PHASICS更靈活,，可以測試寬波段,，而不需要校準 |
第四部 應用領域
Ø 激光、天文,、顯微,、眼科等復雜自適應光學系統(tǒng)波前像差檢測
Ø 激光光束性能、波前像差,、M^2,、強度等的檢測
Ø 紅外、近紅外探測
Ø 平行光管/望遠鏡系統(tǒng)的檢測與裝調
Ø 衛(wèi)星遙感成像,、生物成像,、熱成像領域
Ø 球面、非球面光學元器件檢測 (平面, 球面, 透鏡)
Ø 虹膜定位像差引導
Ø 大口徑高精度光學元器件檢測
Ø 激光通信領域
Ø 航空航天領域
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