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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-08-22 09:08:12
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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,，以柔性鉸鏈為運動副,，使其具有結構緊湊、體積小,、無機械摩擦,、定位分辨率高等優(yōu)點。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設計,，精度可達到亞納米量級,。結合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺的響應時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級,。
Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺 微定位工作臺 微動臺 壓電精密定位系統(tǒng),，納米平移臺，納米定位臺,，納米掃描臺,，壓電平移臺
單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,，以柔性鉸鏈為運動副,，使其結構緊湊、擁有小的體積,、無摩擦,、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點,。
全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設計,，電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,，而且擁有*的精度,，可達到亞納米量級。結合數(shù)字閉環(huán)控制器,，納米定位工作臺的響應時間和穩(wěn)定時間可達到毫秒量級,。低的移動質(zhì)量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。
對于大行程的納米定位臺,，采用目前業(yè)內(nèi)zui*的雙傳感技術與以往相比可以提供更快的響應速度,，提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項突破性的技術能夠應用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器，其操作簡便,，為用戶提供*性能,。
公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產(chǎn)品：
①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動臺
AU-NPS-X-5A是一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長´寬´高）,。應用電容位移傳感器,，位移分辨率達到亞納米級別?？蛰d下的自振頻率更是高達8000HZ,。采用鋁合金材質(zhì)，其擁有較輕的質(zhì)量和高的剛度,，使其有高的帶寬,，在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級別。
②超快一維亞納米定位平臺
AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,，用于高速的,、超精密的應用。該設備在空載下的自振頻率高達9500HZ,。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ,。并且該產(chǎn)品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度,，響應時間達到毫秒量級,。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進行工業(yè)定制。
③超大行程的一維納米微動臺
AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅動,，以柔性鉸鏈為運動副,，使其具有較緊湊的體積，使用電容傳感器,，在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別,。使用雙傳感設計，可提供更快的階躍響應,，提高有效載荷出現(xiàn)變化時的穩(wěn)定性,，并擁有更大的帶寬，使其擁有更快的響應時間,。
④高負載大推力一維亞納米微動臺
AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺,，zui高負載可高達10kg,。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ,。空載下的自振頻率更是高達5000HZ,。
除了以上幾款產(chǎn)品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優(yōu)異的性能,。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬，在50g負載的情況下,，響應時間可達毫秒量級,。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A屬于相同型號，但是具有更高的高度（15.5mm）,，因此擁有更高的剛度,，因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時間和較高的自振頻率,。
u 主要特點
u 主要應用
磁頭和磁盤驅動測試,、計量學、干涉度量學,、原子力顯微鏡等
u 產(chǎn)品主要參數(shù)
型號 參數(shù) | AU-NPS-X-5A | AU-NPS-X-15A | AU-NPS-X-15D | AU-NPS-X-500A | AU-NPS-X-30B | AU-OEM-X-10A | |||
Material | Aluminium | Stainless steel 316 | Stainless steel 316 | Titanium & Aluminium Alloy | Titanium | Titanium | |||
Size
| 23 long x 16.5 wide x 7.6 high | 60 long x 40 wide x 13.5 high | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 60 x 60 x 20 | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 62 long x 40 wide x 22 high | |||
Range (mm) | Minimum |
| ± 7.5 | ± 7.5 | 500 | ± 15 | ± 5 | ||
Typical | 6.5 | ± 8 | ± 8 |
|
| ± 6 | |||
Maximum |
|
|
|
|
|
| |||
Resonant frequency: 0g load | Minimum |
| 3000 HZ | 3500 HZ | 260 HZ | 4500 HZ |
| ||
Typical | 8000 HZ |
|
| 5000 HZ | 9500 HZ | ||||
Maximum |
|
|
|
|
| ||||
Resolution | sub-nanometer | 1 nm | sub-nanometer | ||||||
Maximum load | 5 g | 5 kg | 5 kg | 1 kg | 10 kg | 0.2 kg | |||
Position noise(1σ ) /nmrms | Fast |
| 0.2 | 0.2 |
| 0.12 | 0.05 | ||
Medium | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.09 | 0.07 | ||||
Slow |
| 0.05 | 0.05 | 0.04 | 0.1 | ||||
Linearity error (peak)/% | Minimum |
|
|
|
|
|
| ||
Typical | 0.1 | 0.01 | 0.01 | 0.02 | 0.01 | 0.01 | |||
Maximum | 0.2 | 0.02 | 0.02 |
| 0.02 | 0.02 | |||
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