日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

無萬向節(jié)MEMS掃描鏡

光學(xué)掃描鏡是一種優(yōu)秀的矢量掃描設(shè)備,，能使入射光束按照特定的方式與時(shí)間順序發(fā)生反射，從而在像面上實(shí)現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡體積大,、成本高,，且多為散裝，大大限制了其應(yīng)用,。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡,，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低,、掃描頻率高,、響應(yīng)速度快和功耗低等優(yōu)點(diǎn)，以被廣泛的應(yīng)用在光通信,、掃描成像、激光雷達(dá),、內(nèi)窺鏡,、3D掃描成像等領(lǐng)域。

按照掃描維度不同,，可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡,，一維掃描鏡是指在鏡面在一個(gè)維度內(nèi)偏轉(zhuǎn)，二維掃描鏡是指沿著兩個(gè)方向同時(shí)對(duì)光束進(jìn)行調(diào)節(jié),。實(shí)現(xiàn)二維掃描,，可以選用兩個(gè)一維的掃描鏡，也可以選用兩個(gè)一個(gè)二維的掃描鏡,。相比較而言二維掃描鏡功能更強(qiáng)大,，但是結(jié)構(gòu)也更復(fù)雜，控制的難度也就越大,。

按照驅(qū)動(dòng)方式的不同,，可以分為靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng),、壓電驅(qū)動(dòng)和電熱驅(qū)動(dòng)四種驅(qū)動(dòng)方式,。電熱驅(qū)動(dòng)是，利用電能轉(zhuǎn)換為熱能,，再轉(zhuǎn)換為機(jī)械能驅(qū)動(dòng),，其優(yōu)點(diǎn)是驅(qū)動(dòng)力和驅(qū)動(dòng)位移較大，但是響應(yīng)速度較慢。壓電驅(qū)動(dòng)是利用壓電材料的壓電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng),，具有驅(qū)動(dòng)力大,、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，但是壓電材料存在遲滯現(xiàn)象,。電磁驅(qū)動(dòng)是利用電磁或者永磁體實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng),，具有較大的驅(qū)動(dòng)力力和驅(qū)動(dòng)位移，但是響應(yīng)速度偏慢,，且容易受到電磁干擾,。靜電驅(qū)動(dòng)是利用帶電導(dǎo)體間的靜電作用力實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)，具有功耗低,、速度快,、兼容性好等優(yōu)點(diǎn)。是目前使用zui廣泛的驅(qū)動(dòng)方式,。下圖給出了各種驅(qū)動(dòng)方式的性能對(duì)比

上海昊量光電推出的全部由單晶硅制成,，也就是說這種設(shè)計(jì)使運(yùn)動(dòng)部件不包括任何易出故障的部件，例如,，金屬,、聚合物、壓電材料等,。使其擁有的重復(fù)性和可靠性,。采用擁有的無萬向節(jié)設(shè)計(jì)，使大鏡面尺寸和大角度偏轉(zhuǎn)的MEMS微振鏡擁有更高的速度,。靜電驅(qū)動(dòng)的MEMS掃描微振鏡兩個(gè)軸的偏轉(zhuǎn)角度zui大可達(dá)到32°,，在滿振幅運(yùn)轉(zhuǎn)功耗僅為幾毫瓦。目前靜電驅(qū)動(dòng)的微振鏡可提供的一維和二維的,，可提供直徑從0.8mm到5mm微型振鏡,。

該款微振鏡針對(duì)對(duì)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)（受迫振動(dòng)）光束掃描進(jìn)行了特殊設(shè)計(jì)及優(yōu)化。該采用靜電驅(qū)動(dòng)且選用整個(gè)單晶硅制備而成,，因此使得驅(qū)動(dòng)電壓和偏轉(zhuǎn)角度之間存在良好的一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系,，并且有著的可重復(fù)性，而且隨著使用時(shí)間的推移依然保持著*的性能,。對(duì)于開環(huán)的微振鏡,，致動(dòng)器在每個(gè)軸上至少有14Bits（約16384個(gè)位置），因此當(dāng)機(jī)械偏轉(zhuǎn)角度為-5°到+5°是,，角度的分辨率可達(dá)到10微弧度,。

在整片的單晶硅上采用擁有技術(shù)的無萬向節(jié)設(shè)計(jì)和*的多級(jí)懸梁制造工藝制作一個(gè)完整的微鏡促動(dòng)器。其中采用無萬向節(jié)設(shè)計(jì)可以使微鏡在成像或光束偏轉(zhuǎn)時(shí)可以在兩個(gè)軸上達(dá)到同樣的高速度,。一個(gè)普通的擁有0.8mm直徑的微鏡,，當(dāng)機(jī)械偏角為-6°到+6°時(shí),，非諧振偏轉(zhuǎn)速度超過1000rad/s，*諧振頻率更是達(dá)到3.6KHz,。

與常規(guī)的MEMS掃描鏡不同的是,，該微型振鏡可以在多個(gè)模式下工作，即點(diǎn)對(duì)點(diǎn)模式（受迫振動(dòng)）,、混合模式和諧振模式,。如下圖所示：

a)這種模式可稱為點(diǎn)對(duì)點(diǎn)模式，或者是靜態(tài)模式,。在這種情況下兩個(gè)軸利用設(shè)備操作的寬帶寬從直流到某個(gè)頻率,，并且不允許諧振。因此鏡子可以保持在某一位置,，或者以勻速運(yùn)動(dòng)或執(zhí)行矢量圖形等,。

b）第二種模式為混合模式，即其中一個(gè)軸處于準(zhǔn)靜態(tài)模式,，另外一個(gè)軸處于諧振模式

c）第三種模式為諧振模式,，這時(shí)兩個(gè)軸利用狹窄高增益共振來獲得較大的偏角較低的電壓以及較高的速度。設(shè)計(jì)用于點(diǎn)對(duì)點(diǎn)模式的設(shè)備,，在接近共振或共振時(shí)倍驅(qū)動(dòng),，很容易超過安全偏轉(zhuǎn)角而損壞。因此需要使用非常小的正弦驅(qū)動(dòng)電壓驅(qū)動(dòng)接近諧振工作模式,，并且非常仔細(xì)的尋找所需要的工作點(diǎn)和角度,，以便不超過給定的zui大機(jī)械偏角限制。

u  主要特點(diǎn)：

l  大的鏡面尺寸

l  大的光學(xué)偏角zui大可達(dá)32°

l  重復(fù)精度可達(dá)到0.001°

l  可實(shí)現(xiàn)靜態(tài)掃描模式（受迫振動(dòng)）

u  主要應(yīng)用：

l  投影顯示裝置

l  掃描成像及激光雷達(dá)成像

l  3D跟蹤和位置測量

l  激光打標(biāo),、雕刻

l  光束偏轉(zhuǎn)、掃描

u  主要參數(shù)：

u  驅(qū)動(dòng)控制器：

u  開發(fā)套件：