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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2025-05-14 15:16:17
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納米精度，大行程電控升降臺(tái),！
所屬類別：光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動(dòng)平移臺(tái)
技術(shù)服務(wù)人員：李工(William)
納米精度電動(dòng)升降臺(tái).
電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置,，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái),、電機(jī)和控制器,。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率,、加減速度,、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟,，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度,、行程、負(fù)載,、穩(wěn)定性,、適用環(huán)境等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動(dòng)升降臺(tái)傳動(dòng)螺桿采用滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)運(yùn)動(dòng),，*的螺桿品質(zhì)使平移臺(tái)擁有的分辨率,、定位精度。采用超高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌+LM滑軌,，在確保了升降臺(tái),，具有超高的運(yùn)動(dòng)性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制,，在確保大行程的同時(shí),，分辨率達(dá)到了10nm。按照定位精度區(qū)分，我司電動(dòng)升降臺(tái)可分為 10納米精度位移臺(tái)和亞微米精度位移臺(tái)兩種類型,。
1）10nm精度電控升降臺(tái)
該系類電控位移臺(tái)是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng),?？梢蕴峁┭卮怪狈较虻木芤苿?dòng)與定位,。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時(shí),，使設(shè)備擁有較高的精度,。該產(chǎn)品采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)和LM滑軌+交叉滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向，確保了升降臺(tái)的精度及線性度,。目前該產(chǎn)品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移臺(tái),。
2）亞微米分辨率電控升降臺(tái)
該系類位移平臺(tái)是指分辨率可達(dá)到亞微米精度的精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制,，精度可達(dá)到50-100nm,，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺(tái)。
此外這兩種版本的升降臺(tái)可提供真空條件下使用的版本,，可適用的的真空條件為10-4Pa,，真空度約為10-6 Torr。
主要特點(diǎn)
u 主要應(yīng)用
超精密激光加工、超精密三維掃描測(cè)量,、全自動(dòng)計(jì)量?jī)x器檢測(cè)設(shè)備,、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。
主要參數(shù)：
亞微米電控平移臺(tái)參數(shù)：
型號(hào) | 行程（mm） | 大負(fù)載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 大移動(dòng)速度(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
AU-FS-1005Z | 5 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
AU-FS-1010Z | 10 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
納米電控平移臺(tái)參數(shù)：
型號(hào) | 行程（mm） | 大負(fù)載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 大移動(dòng)速度(mm/s) |
AU-FS-1005PZ | 5 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
AU-FS-1010PZ | 10 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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