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SEM高速刻蝕子系統(tǒng)

XENOS刻寫子系統(tǒng)是一種允許設計圖案數(shù)據(jù)并產(chǎn)生用于帶電粒子束（例如用于半導體光刻應用或聚焦離子束系統(tǒng)的電子束）轉向的相應偏轉信號的系統(tǒng),?？梢赃B接到傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設備上,，升級系統(tǒng),，在半導體或其他材料上進行納米光刻。

高速刻寫

可以實現(xiàn)高達40MHz的像素速率,。由于采用了智能寫入算法,，可以考慮當前SEM的有限偏轉帶寬。優(yōu)化的數(shù)據(jù)傳輸和穩(wěn)定時間計算與高寫入速度相匹配,，以提供快速寫入的所有優(yōu)點,。

智能且通用的格式

使用三階多項式掃描邏輯，可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項式,。因此,，圓形,、環(huán)形或橢球體可以由同心的單像素環(huán)書寫,，通常在曝光過程中不需要消隱。并且,，可以用Min的數(shù)據(jù)開銷和傳輸時間來實現(xiàn)理想的寫入速度和近似質量,。此外，與結構的多邊形部分的光柵掃描相比,，偏轉信號的正弦形狀消耗的偏轉帶寬要小得多,。同時，寫入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬,。

高靈活性

模塊化系統(tǒng)可以進行配置,，以滿zu您的需求,。邏輯配置和DSP內(nèi)核可以在幾分鐘內(nèi)更新，以提供新功能,。

配置高,，應用界面友好

完整的偏轉信號生成是在每軸16/32位的可編程邏輯器件中實現(xiàn)的。特別是場校正不使用帶寬限制的乘法模擬DAC,，而是數(shù)字構建的,，工作到Max寫入速度，而在產(chǎn)生的偏轉信號中沒有任何失真,。

控制軟件ECP基于Linux或Windows使用,，CAD部分可在工作組中自由使用。

SEM刻蝕子系統(tǒng)應用圖例：

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