D7點衍射激光干涉儀用于測量介觀顯微物鏡的檢測方案
介觀物鏡,，因其具有復雜的光學結構和出色的像差優(yōu)化,，可以實現高NA和超大成像 FOV，顯著提高光學顯微鏡成像通量的特點而被人們熟知,。
介觀顯微物鏡可用于廣域成像系統(tǒng),、激光共焦掃描成像系統(tǒng)和雙光子成像等系統(tǒng)，具有重要的研究意義,。
本文介紹了一種用D7點衍射激光干涉儀測量介觀顯微物鏡的檢測方案,，
具體方案如下圖所示：
1.光源部分
1. D7系統(tǒng)的光源為連續(xù)波(CW)單模(SLM)激光器：具有不同波長的相干性，覆蓋了激光器的工作光譜范圍包括:480 nm, 532 nm, 633 nm, 830 nm, 1030 nm,。
2. 激光器是光纖耦合的,，可以通過光纖插入到D7主機插座上選擇單元。
3. 所有的激光器都是永jiu插入,，光源選擇可以從一種波長切換到另一種波長,。可選波長范圍為VIS和NIR范圍,，或為每個波長,。
2.測試參數及準確性部分
1. 測試參數包括波前通過視場，通過光譜范圍(從可見光到近紅外),，孔徑像差-球面像差,，彗差，像散;場像差-失真,，場曲率;色差-波前色差,，橫向和軸向色差等。
2. 通過物鏡,、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場,。
3. 檢測精度如下表所示：
3.畸變校正
1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳輸為標準光學設計軟件(ODS)。
2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數表示,。
3. 實測像差系數CFZM可與設計系數CFZD進行數據比較,，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用,。
4. 比較的結果有助于選擇參數包括-氣隙，或其他參數,，這對于在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用,。
4.D7系統(tǒng)的優(yōu)點
1. 測試介觀物鏡不需要參考鏡。
2. 測試介觀物鏡可在全光譜范圍VIS + NIR下進行,。
3. D7可以選擇不同的工作波長范圍,。
4. D7系統(tǒng)可以提供廣泛的參數測量包括全視場(FOV)波前以及所有類型的像差:孔徑像差，視場像差,，還有色差等,。
5. D7系統(tǒng)與DifroMetric軟件可以測量調制傳遞函數(MTF)以及光學傳遞函數(OTF)。
6. DifroMetric軟件的導出/導入數據傳輸兼容一種標準的光學設計軟件(ODS)的Zemax, CODE V, Oslo或其他可用于糾正物鏡像差的軟件,。
7. 對待測件口徑兼容性強,，孔徑較大(NA=0.9)和視場較小(0.1 mm)的物鏡都可以使用。
5.結論
1. D7系統(tǒng)可以綜合表征性能:a)在工作光譜范圍內的介觀物鏡的性能參數b)提出改進建議并模擬未來樣品在成像系統(tǒng)的性能參數,。
2. 對介觀物鏡的測量精度超過物鏡本身的精度水平,，并覆蓋其整個視場。測試精度比參數值高5 - 10倍,。
3. 使用D7系統(tǒng)可以保證客觀分析的完整,，從而證明其完善性成像特性。
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