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高精度納米級壓電位移平臺“PIEZOCONCEPT”,！
--半導(dǎo)體界后摩爾時代的手術(shù)刀,。

第三代半導(dǎo)體是后摩爾時代實(shí)現(xiàn)芯片性能突破的核心技術(shù)之一，*性能和廣泛的下游應(yīng)用使相關(guān)廠商存在良好發(fā)展前景,。隨著下游終端需求改善,，下游結(jié)構(gòu)升級及國產(chǎn)替代是半導(dǎo)體界發(fā)展的趨勢。然而運(yùn)動控制核心部件對于眾多產(chǎn)業(yè)布局,，往往起到了關(guān)鍵性作用,；高精度納米級壓電位移平臺，仍然是眾多企業(yè)亟不可待的關(guān)鍵產(chǎn)品,。

昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度納米級壓電位移平臺系列產(chǎn)品,，它的產(chǎn)品猶如一把手術(shù)刀，具備精確,、鋒利,、專業(yè)、值得信任的特點(diǎn),；它代表著高精度,、高穩(wěn)定性、高響應(yīng)速度,、高抗疲勞性,。

下面對“PIEZOCONCEPT”產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)的介紹：

1.PIEZOCONCEPT單軸位移平臺

PIEZOCONCEPT單軸位移平臺產(chǎn)品是可以在單個維度上提供精確定位的產(chǎn)品，主要包含X軸壓電平臺,、Z軸壓電平臺,、物鏡掃描臺、快速反射鏡,。

X軸產(chǎn)品圖片

Z軸產(chǎn)品圖片

一維掃描平臺

一維快反鏡

2.PIEZOCONCEPT兩軸位移平臺

兩軸壓電平臺可以提供兩個維度上的平移或偏轉(zhuǎn),，主要包括XY二維壓電納米位移臺和二維快反鏡。

XY軸壓電平臺

二維快反鏡

3.PIEZOCONCEPT三軸位移平臺

XYZ軸壓電平臺

4. PIEZOCONCEPT位移臺 du特優(yōu)勢

昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”高精度單軸,、雙軸,、三軸納米級壓電位移臺、物鏡掃描臺、快反鏡系列產(chǎn)品,；該壓電平臺以壓電陶瓷為驅(qū)動,，采用了柔性鉸鏈連接的方法，具備精確導(dǎo)向性,、高穩(wěn)定性,、高抗疲勞性的特點(diǎn)，同時搭配高精度硅基位移傳感器,、16Bit高分辨率高速控制器,，具有高響應(yīng)速度，亞納米級的分辨率,，超低底噪（10-50pm）和超高線性度（0.02%）,，廣泛應(yīng)用于高精密位移領(lǐng)域，包括但不局限于半導(dǎo)體領(lǐng)域,。

功能的du特優(yōu)勢包括：

亞微米級別的重復(fù)定位精度

穩(wěn)定性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類產(chǎn)品

0-1500微米級的移動范圍

5.PIEZOCONCEPT使用什么類型的傳感器,？為什么它優(yōu)于其他傳感器技術(shù)？

PIEZOCONCEPT使用單晶硅傳感器,，稱為硅基位移傳感器,。盡管它是應(yīng)變傳感器大家族的一部分,，但它優(yōu)于其他兩種常用傳感器（電容式傳感器和金屬應(yīng)變傳感器）,。這兩種傳感器與PIEZOCONCEPT單晶硅傳感器相比都有明顯的缺點(diǎn)。

電容式傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器相比,，對以下方面很敏感：

•氣壓變化：空氣的介電常數(shù)取決于氣壓,。測量將受到任何壓力變化的影響。

•溫度變化：空氣的介電常數(shù)也會隨溫度變化,。

•污染物的存在,。

以上所有這些都會導(dǎo)致納米級的一些不穩(wěn)定性，即使可以對空氣壓力和溫度進(jìn)行校正,，也不可能校正其它因素（污染物,、排氣）的影響。這解釋了電容式傳感器在真空環(huán)境中性能不佳的原因,。此外,，電容傳感器非常昂貴和笨重。硅HR傳感器技術(shù)是一種固態(tài)技術(shù),，它的電阻不依賴于空氣壓力或污染物的存在,。其次，雖然溫度變化對測量有影響（主要是因?yàn)椴牧系臒崤蛎洠@可以通過使用傳感器陣列進(jìn)行校正,?；旧希琍IEZOCONCEPT在每個軸上使用兩個平行的硅傳感器,，一個用于測量,，另一個用于考慮溫度變化引起的材料膨脹。

6.金屬應(yīng)變傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器的比較,。

金屬應(yīng)變傳感器和PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器之間的差異更大,。

第1個區(qū)別是應(yīng)變系數(shù)：半導(dǎo)體應(yīng)變傳感器（硅基位移傳感器）的應(yīng)變系數(shù)大約是金屬應(yīng)變傳感器的100倍。更高的應(yīng)變系數(shù)導(dǎo)致更高的信噪比,，zui終導(dǎo)致更高穩(wěn)定性,。

第2個區(qū)別是金屬應(yīng)變傳感器不能直接安裝在撓曲裝置上（也就是實(shí)現(xiàn)運(yùn)動的地方）：金屬應(yīng)變傳感器必須安裝在某種“背襯”上，這就導(dǎo)致了壓電致動器存在蠕變或滯后現(xiàn)象,。由于壓電致動器的膨脹不均勻,，因此僅測量致動器的一部分伸長率無法精確推導(dǎo)其完整伸長率。硅基位移傳感器是通過對撓曲本身進(jìn)行測量,，不存在這種“不均勻性”問題,。

綜上所述，硅基位移傳感器在環(huán)境背景中優(yōu)于電容式傳感器,，在信噪比和穩(wěn)定性方面優(yōu)于金屬應(yīng)變傳感器,。

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器,、光電調(diào)制器,、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等,，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工,、光通訊、生物醫(yī)療,、科學(xué)研究,、國防、量子光學(xué),、生物顯微,、物聯(lián)傳感、激光制造等,；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,，培訓(xùn)，硬件開發(fā),，軟件開發(fā),，系統(tǒng)集成等服務(wù)。