一篇文章看懂：什么是SENIS集成3軸磁傳感器,？
為了測量電磁鐵和永 jiu磁鐵產(chǎn)生的從 10-6 到 102 T 的非均勻磁通密度,，通常使用帶霍爾探頭的特斯拉計(jì)。為了同時(shí)測量磁通密度的三個(gè)正交分量,，需要使用三軸霍爾探頭,。根據(jù)目前傳統(tǒng)的的技術(shù)水平，三軸霍爾探頭由三個(gè)霍爾板組成,，這三個(gè)霍爾板分別位于一個(gè)小立方體的三個(gè)相互正交的面上,。單個(gè)霍爾板的尺寸及其定位公差嚴(yán)重限制了可實(shí)現(xiàn)的空間分辨率和測量磁通密度矢量的角度精度。此外,，連接霍爾裝置的導(dǎo)線中的電磁感應(yīng)也限制了這種霍爾探頭的有用帶寬,。此外，平面霍爾效應(yīng)通常會(huì)產(chǎn)生額外的誤差。在基于量子阱的霍爾板中,，平面霍爾效應(yīng)很弱,，但問題依然存在。
為了解決這個(gè)問題,，在一個(gè)點(diǎn)上檢測三個(gè)方向的磁性,。SENIS開發(fā)了一種劃時(shí)代的“集成3軸磁傳感器"，使之成為可能,。這就是“集成的三軸磁傳感器",。 該傳感器可以在所有情況下測量精確的3D矢量，例如永磁體的鄰近磁場,、小線圈產(chǎn)生的磁場和時(shí)間變化,，這在過去是不可能的。
圖1. 傳統(tǒng)的霍爾片3軸探頭（左）和SENIS集成3軸磁傳感器（右）
3軸磁性探頭的配置 | 傳統(tǒng)的霍爾片3軸探頭 | SENIS集成3軸磁傳感器 |
磁化位置 | 3個(gè)位置 | 一個(gè)位置（單點(diǎn)） |
磁感應(yīng)位置的錯(cuò)位量 | 取決于 傳感器位置（約0.5mm~10mm） | 無錯(cuò)位 |
傳感器的相對(duì)角度誤差 | 通常不標(biāo)注（過大） | ±0.1°以內(nèi) |
溫度傳感器 | 無 | 安裝在傳感器芯片中 |
探頭形狀 | 約1~2種 | 8種類型+定制自由 |
一,、 專li技術(shù)的SENIS集成3軸磁傳感器
二,、 SENIS集成三軸磁傳感器的功能
除了磁傳感器外，集成的3軸磁傳感器還集成了偏置電路和放大器,，以提高頻率特性和抗噪性,，甚至在寬度僅為 0.64 m 的單個(gè)芯片上集成了溫度傳感器，用于因溫度變化而進(jìn)行靈敏度校正,。
1.敏感區(qū)域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm
2.3個(gè)方向相對(duì)角度誤差在±0.1以內(nèi)
3.頻率響應(yīng)：高達(dá)25Khz（-3db）
4.溫度特性±100ppm/°C
三,、 SENIS集成三軸磁傳感器放大圖
四．SENIS集成三軸磁傳感器詳細(xì)信息
圖2. 磁性傳感器內(nèi)部有5個(gè)感磁區(qū)域。通過取BZ1和BZ2的平均值,，虛擬地求出By傳感器位置的Bz磁場,。同樣地，通過取Bx1和Bx2平均值來求出By傳感器位置的Bx磁場,，可在同一點(diǎn)上收集Bx,、By、Bz,。
五．搭配SENIS集成三軸磁傳感器的霍爾探頭類型：
Hall Probe Type: | 類型 | External Dimensions（外殼尺寸）: L x W x H (mm) | 特點(diǎn) | |
Type A 1)
| 堅(jiān)固型 | 長度：16.5 寬度：5.0 | 探頭表面到傳感器傳感器 的距離：1.0±0.1mm |
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Type C 2)
| 高溫測量型 | 長度：8.0 寬度：4.0 | 探頭表面到傳感器傳感器 |
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Type H 3)
| 長型1 | - HL長度：71 - HM長度：47 |
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Type K 4)
| 長型2 | - KL長度：71 - KM長度：47 - KS長度：8 |
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Type L 5)
| 長型3 | -LL長度：71 -LM長度：47
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|
六．搭配SENIS集成三軸磁傳感器的高斯計(jì)/特斯拉計(jì)匯總類型：
SENIS數(shù)字特斯拉計(jì)/高斯計(jì)基于SENIS®的模擬磁場傳感器電子設(shè)備,，其頂部添加了數(shù)字模塊，具有顯示器,，通信端口,，數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)校正等。SENTIS提供不同類型的特斯拉計(jì),，具有不同的磁性分辨率,，精度，f帶寬,，噪聲水平和功能和處理選項(xiàng)（手持式,，臺(tái)式,，機(jī)架式）
3MH3特斯拉計(jì)，適用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用,，具有良好的精度,，分辨率和f帶寬
3MH6臺(tái)式特斯拉計(jì)，用于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用,，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f帶寬
3MTS 手持式特斯拉計(jì)，探頭支架堅(jiān)固,，精度高
1 軸,、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 3NTA1，用于極低磁場
SENIS®已通過ISO 9001和ISO 22301（業(yè)務(wù)連續(xù)性管理）認(rèn)證,。我們的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室已通過ISO17025：2017認(rèn)證,。
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