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六軸位移臺參數(shù)解讀

六足運動平臺在運動控制領(lǐng)域有著悠久的應用歷史,，但近年來,，傳統(tǒng)的6自由度(6-DOF)定位設(shè)備在面對行業(yè)對更高精度、更高可重復性和更好的幾何性能的需求時顯得有些不足?，F(xiàn)對一些ALIO位移臺參數(shù)細節(jié)做一些解讀,，以便您理解ALIO六自由度位移臺對于傳統(tǒng)六足位移臺的提升。

準確度（accuracy）

準確度是指在特定三維空間中,，實際位置與通過測量設(shè)備測量的位置之間的差異,。對于測量設(shè)備而言，準確度受到反饋機制（如ALIO六軸位移臺的光柵尺增量編碼器）,、驅(qū)動機構(gòu)（如滾珠螺桿,、導桿、線性電機）以及軸承路徑的準確性的影響。

重復度（Repeatability）

可重復性被定義為在相同條件下,，系統(tǒng)重復地被命令到同一位置時所達到的位置范圍,。單向可重復性通過從一個方向接近該點進行測量。雙向可重復性是測量系統(tǒng)能夠從兩個方向返回到該點的能力,。

分辨率（Resolution）

分辨率被定義為系統(tǒng)的zui小可識別位移量,。也分辨率由反饋裝置確定。

zui小步長（Minimum Incremental Step Size）

被定義為系統(tǒng)的zui小可行移動量,，也被稱為步進大小,。

俯仰（Pitch）：

俯仰是圍繞水平平面上與行進方向垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,，則俯仰旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差,。對于X軸，俯仰旋轉(zhuǎn)會在X方向和Z方向上引起阿貝誤差,。對于Y軸,，俯仰旋轉(zhuǎn)會在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過將偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和1減旋轉(zhuǎn)角度的余弦值來確定

橫滾（Roll）：

橫滾是圍繞與行進方向平行的水平平面上的軸進行的旋轉(zhuǎn),。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,，則橫滾旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差。對于X軸,，橫滾旋轉(zhuǎn)會在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差,。對于Y軸，橫滾旋轉(zhuǎn)會在X方向和Z方向上引起阿貝誤差,。這些誤差的大小可以通過將偏移距離的長度乘以旋轉(zhuǎn)角度的正弦值和余弦值來計算,。

偏航（Yaw）：

偏航是圍繞與行進方向垂直的垂直平面上的軸進行的旋轉(zhuǎn)，即Z軸,。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉(zhuǎn)中心,，則偏航旋轉(zhuǎn)會引起兩個維度上的阿貝誤差。對于X軸或Y軸臺,。

回程誤差（Backlash）：

回程誤差是由行進方向反轉(zhuǎn)引起的定位誤差,。反向間隙是在行進方向反轉(zhuǎn)時不會產(chǎn)生位置變化的指令運動部分。反向間隙是由傳動系中元素之間的間隙引起的,。隨著間隙的增加,，產(chǎn)生運動所需的輸入量也會增加。間隙的增加導致反向間隙誤差增加,。反向間隙也會影響雙向可重復性,。ALIO位移臺從系統(tǒng)設(shè)計上避免萬向節(jié)消除了回程誤差，大大提升位移臺整體性能,。

直線度（Straightness）：

直線度是指在水平平面上,，相對于行進方向的真實行進線路的偏差,。平整度是指在垂直方向上，相對于行進方向的真實行進線路的偏差,。對于ALIO位移臺,，直線度和平整度參數(shù)都與位移臺的安裝表面有關(guān)，請聯(lián)系昊量光電了解詳情,。

跳動（runout）:

跳動是旋轉(zhuǎn)機械系統(tǒng)的不準確性,，特別是工具或軸沒有wan 全與主軸線一致地旋轉(zhuǎn)。例如; 鉆孔時,，由于鉆頭偏心旋轉(zhuǎn)（離軸而不是成一直線）,，跳動會導致孔大于鉆頭的標稱直徑。對于軸承,，跳動會導致機器振動并增加軸承負載。

跳動有兩種主要形式：

徑向跳動（Radial runout）：由于工具在平行于機器軸線的情況下發(fā)生平移,，徑向跳動沿機器軸線的各個點測量結(jié)果相同,。

軸向跳動（Axial runout）：由于工具或零件與軸線有角度，導致工具（或軸）jian 端相對于基準位置偏離中心旋轉(zhuǎn),。軸向跳動的大小取決于測量點與基準位置的距離,。

ALIO的6-D 納米精度工作臺的核心是串聯(lián)和平行運動學的結(jié)合，這使得傳統(tǒng)的六足運動學過時了,，在精度,、路徑性能、速度,、剛度和更大的工作范圍(幾乎無限的XY行程,，wan全可編程的工具中心點位置)方面都有數(shù)量級的改進。

ALIO的Hybrid Hexapod®具有小于100納米的3維6軸點精度重復性,，使其成為激光加工,、光學檢測、光電子,、半導體,、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務應用的關(guān)鍵技術(shù)。

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,，產(chǎn)品包括各類激光器,、光電調(diào)制器、光學測量設(shè)備,、光學元件等,，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊,、生物醫(yī)療,、科學研究、國防、量子光學,、生物顯微,、物聯(lián)傳感、激光制造等,；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,，培訓，硬件開發(fā),，軟件開發(fā),，系統(tǒng)集成等服務。