半導體設備羅茨真空泵原理?

羅茨真空泵抽氣過程：
羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程,。在0°位置時,，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)到45°位置時,，該腔與排氣口相通,。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來,。當轉(zhuǎn)到90°位置時,，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外,。這時,，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時,，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,，重復上述過程。180°位置和0°位置是一樣的,。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體,。

羅茨真空泵產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.轉(zhuǎn)速高、效率高,。
2.結(jié)構(gòu)簡單,，操作、維護方便,。
3.轉(zhuǎn)子被鎖緊,，無軸向串動現(xiàn)象。
4.采用高精度傳動齒輪和良好的動平衡，噪聲低,、運轉(zhuǎn)平穩(wěn),。
5.泵腔為無油結(jié)構(gòu)，適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體,。
6.與其它機械真空泵比較,，節(jié)能*。
7.可與各類前級泵配套,，可廣泛應用于種類工藝范圍,。
8.可采用風冷和水冷方式滿足不同工況要求。

羅茨真空泵產(chǎn)品應用：
● 照明,、電子,、光學、半導體,、分析儀器等
● 鍍膜,、濺射、離子鍍,、液晶注入,、真空干燥、冷凍干燥,、真空脫氣等
● 真空熱處理爐,、燒結(jié)爐、釬焊爐,、檢漏設備,、CO2激光設備等

普諾克真空泵產(chǎn)品應用：
普諾克真空泵在真空包裝、食品加工,、氣力輸送,、半導體、太陽能,、塑料,、化工及制藥、醫(yī)院醫(yī)療,、環(huán)保工程,、復合材料、冶金,、石油及天然氣,、表面處理技術、電子及電力,、木材加工、機械制造等眾多工業(yè)領域有著廣泛的應用。

羅茨真空泵優(yōu)勢：
1,、保護潤滑油,，不乳化，不被介質(zhì)污染,；
2,、保護軸承與齒輪，使之壽命更長,；
3,、減少加油換油頻率，維護更便捷,。

東莞市普諾克真空科技有限公司本著“以人為本,、以質(zhì)取勝”的經(jīng)營理念，在營銷和服務上動真情,、出實效,，為客戶著想，公司建立了羅茨真空泵產(chǎn)品質(zhì)量,、安裝指導服務,、運行調(diào)試指導、設備保修期,、保修期過后備件供應及維修的服務承諾和一整套完整的售后服務管理體系,，用良好的售后服務制度和手段來保證客戶的利益，做到客戶購買我們的產(chǎn)品同時享受銷售,、送貨,、安裝、服務,，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和優(yōu)良的服務滿足于國內(nèi)外用戶的需求,。

半導體設備羅茨真空泵原理?