半導(dǎo)體專用螺桿真空泵

螺桿真空泵性能特點(diǎn)：

1、工作腔內(nèi)無(wú)任何介質(zhì),，可獲得清潔真空

2,、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況

3,、氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮,，適宜抽取可凝性氣體

4、單臺(tái)泵可從大氣抽至1Pa,，真空系統(tǒng)可大大簡(jiǎn)化,。

5、水溫對(duì)真空影響小,，節(jié)水達(dá)90%以上,，甚至可以不耗水,。

6、不耗油,，無(wú)滴漏

7,、旋轉(zhuǎn)部件間無(wú)摩擦，可高速運(yùn)轉(zhuǎn),，整機(jī)體積小

8,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便,。

9,、被抽氣體直接排出泵體，不污染水,，無(wú)環(huán)保壓力,，氣體回收更便捷。

10,、可與羅茨泵,、分子泵組成無(wú)油機(jī)組

螺桿真空泵，選東莞市普諾克真空科技有限公司,，創(chuàng)新/高效/高可靠性

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最大限度降低能耗成本,，更強(qiáng)的動(dòng)力

創(chuàng)新智能螺桿真空泵,，生命周期成本低廉

參數(shù)：

型號(hào)：PNK DSP 0600

額定流量：600m³/h

極限壓力：1Pa

電機(jī)功率：18.5kw

轉(zhuǎn)速：2900/3500rpm

噪音：78dB(A)

吸氣口：100mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

干式螺桿真空泵原理：

在干式螺桿真空泵壓縮是由內(nèi)部體積收縮來(lái)實(shí)現(xiàn)。干式螺桿真空泵由兩個(gè)計(jì)數(shù)旋轉(zhuǎn)螺桿,，一個(gè)具有左旋螺紋,，另一個(gè)右螺紋。兩個(gè)螺桿同步旋轉(zhuǎn)在壓縮室與無(wú)摩擦,，無(wú)接觸和很窄的間隙,，這是由一個(gè)精確的齒輪實(shí)現(xiàn)。由于這兩個(gè)螺絲跟吸氣口的空間被擴(kuò)大,，相反旋轉(zhuǎn)時(shí),，氣體流入腔室,。從吸入側(cè)到壓力側(cè)螺桿的軸向運(yùn)動(dòng)，使腔室內(nèi)部的氣體進(jìn)行壓縮,，同時(shí)帶來(lái)了越來(lái)越多的氣體,。在壓力側(cè)越來(lái)越氣體移動(dòng)靠在殼體壁和體積收縮直到它打開(kāi)時(shí)，壓縮氣體然后通過(guò)出口排出的壓力通道,。在此過(guò)程中,，冷卻是通過(guò)一個(gè)水冷外室完成。對(duì)于一些型號(hào)的泵,，水和空氣的雙重冷卻系統(tǒng)配備,。

螺桿真空泵安全使用：

螺桿真空泵在使用過(guò)程中，應(yīng)該注意檢查,、操作及保養(yǎng)項(xiàng)目,，確保螺桿泵能正常高效的工作。

首先,，檢查螺桿真空泵及管路及結(jié)合處有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象,。用手轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿泵，試看螺桿泵是否靈活,。

其次,，向螺桿泵軸承體內(nèi)加入軸承潤(rùn)滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處潤(rùn)滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充,。

再有,，點(diǎn)動(dòng)螺桿泵電機(jī)，試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確,。

最后,，盡量控制螺桿式真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證螺桿泵在有效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn),，才能獲得最大的節(jié)能效果,。

半導(dǎo)體專用螺桿真空泵