羅茨泵真空泵機組
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真空系統(tǒng):
是由真空泵,、真空計,、真空罐、控制集成箱及其它元件如真空閥門,、冷阱等,,借助于真空管道,按一定要求組合而成,,并具有所需抽氣功能的抽氣裝置,。它的職能是在一定的時間、空間內(nèi)獲得真空,,保持真空,,確保系統(tǒng)內(nèi)某項工藝過程或物理過程的實施。
真空系統(tǒng)存在的泵的名詞解釋:
主泵:在真空系統(tǒng)中,,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵,。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵,。
粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵,。如真空鍍膜機中的滑閥泵,,就是粗油泵。
維持泵:在真空系統(tǒng)中,,氣量很小時,,不能有效地利用前級泵,。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵,。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,,就是維持泵。
事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空,,而想要獲得高真空時,,通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵,。當串聯(lián)一個高真空泵之后,,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空,。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵,,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板,。根據(jù)要求,,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭,、真空軟連接管道,、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,,這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng),。
真空系統(tǒng)主泵類型的確定:
- 真空泵系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵問題是選擇真空抽氣機組的主泵。
- 根據(jù)真空室所需要建立的極限壓力確定主泵的類型,。一般主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級,。
- 根據(jù)真空室進行工藝生產(chǎn)時所需要的工作壓力選主泵。應(yīng)正確地選擇主泵的工作點,,在其工作壓力范圍內(nèi),,應(yīng)能排除真空室內(nèi)工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。因此,,真空室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的抽速壓力范圍之內(nèi),。
- 根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽氣時間來選主泵。真空室體積大小對系統(tǒng)抽到極限真空的時間有影響,。當抽氣時間要求一定時,,若真空室體積越大,則主泵抽速也越大,。
- 正確地組合真空泵,,由于真空泵有選擇性地抽氣,因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求,。
- 若真空系統(tǒng)嚴格要求無油時,則應(yīng)該選各種無油泵作主泵,。如果要求不嚴格,,則可選擇有油泵,然后加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達到清潔真空要求,。
- 選擇真空泵時,應(yīng)該知道被抽氣體成分,,針對被抽氣體成分選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆?;覊m等,,則應(yīng)該考慮選擇干式真空泵、耐腐蝕真空泵等,?;蛟诒玫倪M氣口管道上安裝輔助設(shè)備。
- 根據(jù)整套真空系統(tǒng)的初次投資和日常維護費用等經(jīng)濟指標選擇主泵,。
真空系統(tǒng)保養(yǎng)維護:
1,、定期檢查真空泵,,做好真空泵的日常維護工作,。
2、定期清理及更換真空泵進氣口真空過濾器濾芯,。
3,、定期檢查電氣控制。
4,、定期檢查真空管路及真空罐的密封情況,。
羅茨泵真空泵機組?? 產(chǎn)品圖